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《电子显微镜》思考题及答案

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

思考题

1.简述电子显微镜与光学显微镜在分辨率上的根本区别，并解释电子显微镜能够实现更高分辨率的原因。

2.磁透镜为什么能够聚焦电子束？简述球差、色差和像差对电子显微镜成像质量的主要影响。

3.解释电子束与样品相互作用产生的主要物理效应，并说明这些效应如何分别被用于成像（如透射成像）和谱学分析（如EDS、EELS）。

4.对比透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM）在基本结构、成像原理、样品要求及主要应用方面的异同。

5.为什么电子显微镜需要工作在高度真空的环境下？简要说明制备透射电子显微镜所需样品的典型方法及其面临的挑战。

6.高分辨率透射电子显微镜（HRTEM）成像能够看到样品的哪些结构信息？它对样品的晶体结构提出了什么要求？

7.选区电子衍射（SAED）和电子背散射衍射（EBSD）都是利用电子束与晶体相互作用产生衍射信息的，它们在实验设置、信息获取和主要应用目的上有哪些区别？

8.简述场发射电子源相比于传统钨丝灯丝作为电子枪发射端的优点。

9.二次电子像和背散射电子像分别来自于样品表面的哪种电子？它们各自主要反映了样品表面的哪些信息？在扫描电子显微镜（SEM）成像中，如何通过调节探测器来获取这两种图像？

10.结合你所学的电子显微镜知识，简要讨论选择使用透射电子显微镜还是扫描电子显微镜来观察一种特定的纳米材料样品时，应考虑哪些因素？

试卷答案

1.答案：光学显微镜的分辨率受限于光的波长（约400-700纳米）以及衍射效应，其分辨率理论极限约为0.2微米。电子显微镜使用波长极短的电子束（德布罗意波长可达零点几纳米），远小于可见光波长，且电子的波动性更强，因此能够克服光的衍射极限，实现远高于光学显微镜的分辨率。

解析思路：本题考查对光学显微镜与电子显微镜分辨率差异根本原因的理解。核心在于理解光学显微镜分辨率极限由可见光波长决定，而电子显微镜利用了电子的波动性，其波长更短，从而突破衍射极限。需要明确波粒二象性在两种显微镜中的体现及其对分辨率的影响。

2.答案：磁透镜利用磁场对运动电子的洛伦兹力（F=qvB）产生作用，使电子束发生偏转和聚焦。球差是电子束穿过透镜不同区域时，由于折射率（或等效折射率）不均匀导致聚焦点不一致而产生的像差。色差是电子束因能量分散（速度不同）而在透镜中受到的偏转量不同而产生的像差。像差会使得成像模糊，降低分辨率，其中球差的影响尤为显著。

解析思路：本题考查对电子透镜聚焦原理及主要像差的理解。首先要说明磁透镜的物理原理（洛伦兹力）。然后分别定义并解释球差和色差的形成机制，并指出它们对成像质量的具体负面影响。

3.答案：电子束与样品相互作用产生的主要物理效应包括：弹性散射（如背散射电子BSE，用于元素分析；透射电子用于成像）、非弹性散射（如产生二次电子SE，用于表面形貌成像；损失能量产生特征X射线和能量损失谱EELS，用于元素和化学状态分析）。这些效应的应用依据是：弹性散射电子的路径变化与样品原子序数相关；非弹性散射过程中，电子损失的能量携带样品原子间的化学键信息和电子结构信息。

解析思路：本题考查对电子束与物质相互作用主要类型及其分析应用的理解。需要区分弹性散射和非弹性散射，并具体说明每种散射产生的信号类型（BSE,SE,X射线,EELS），最重要的是要解释清楚这些信号与样品哪些信息（元素、原子序数、化学键、电子结构、表面形貌）相关联。

4.答案：相同点：都利用聚焦的电子束来成像，核心部件都包含电子源、电磁透镜、真空系统等。不同点：TEM主要利用透射电子成像，要求样品极薄（100纳米）；SEM利用二次电子或背散射电子成像，可在较大厚度的样品表面进行扫描；TEM分辨率更高，适合观察精细内部结构；SEM景深大，成像立体感强，适合观察表面形貌；TEM样品制备复杂，SEM样品制备相对简单（尤其对于导体）。

解析思路：本题要求系统比较TEM和SEM。要点包括：基本原理的共性（利用电子束），关键结构部件的共性。重点在于列出两者在核心区别上的差异，包括样品要求（厚度、制备难度）、成像方式（透射/扫描）、探测器（二次电子/背散射电子）、主要成像目标（内部精细结构/表面形貌）、分辨率、景深等。

5.答案：电子是带负电的粒子，在真空中运动时不会被空气中残留的气体分子所散射，且电子透镜需要利用电磁场偏转电子，气体分子会干扰电磁场，因此电子显微镜必须在高度真空（约10^-5-10^-6帕）下工作。TEM样品制备需要将块状样品减薄至几十纳米甚至几纳米，常用的方法有离子减薄（刻蚀）和超薄切片（如电镜切片