CN112947061B 控制系统、控制方法、计算机程序产品和处理系统 （东京毅力科创株式会社）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN112947061B(45)授权公告日2025.07.11

(21)申请号202011277266.2

(22)申请日2020.11.16

(65)同一申请的已公布的文献号

申请公布号CN112947061A

(43)申请公布日2021.06.11

(30)优先权数据

2019-2133792019.11.26JP

(73)专利权人东京毅力科创株式会社地址日本东京都

(72)发明人桶口龙太

(51)Int.CI.

G05B13/04(2006.01)

G05B15/02(2006.01)H01J37/32(2006.01)

C23C16/505(2006.01)

C23C16/02(2006.01)

(56)对比文件

US2003003607A1,2003.01.02审查员毛威

(74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限

公司11322专利代理师龙淳

权利要求书4页说明书14页附图8页

(54)发明名称

控制系统、控制方法、计算机程序产品和处理系统

(57)摘要

本发明的课题在于：稳定地控制处理装置内的状态。解决课题的方法在于：控制系统具有决定部、模拟部、第一控制信号生成部、第二控制信号生成部、第一调整部和第二调整部。决定部基于方案决定模型和控制算法。模拟部利用模型模拟处理装置的状态。第一控制信号生成部利用控制算法由测定值生成控制信号，将所生成的控制信号输入给处理装置。第二控制信号生成部利用控制算法由模拟部的输出值生成控制信号，将所生成的控制信号输入给模拟部。第一调整部基于测定值和输出值调整模型所含的模型参数的值。

CN112947061

CN112947061B

200

s201

s201

决定部

203

模拟部

第二调整部

205

s202

第一控制信号生成部

第二控制信号生成部

上一级装置

第一调整部

100

CN112947061B权利要求书1/4页

2

1.一种控制系统，其特征在于，具有：

决定部，其基于记载有对基板进行处理时的条件的方案，决定与对所述基板进行处理的处理装置对应的模型和控制算法，所述控制算法基于由设置于所述处理装置的测定器测得的测定值生成控制信号，所述控制信号用于控制所述处理装置，使得所述处理装置的状态成为预定的状态；

模拟部，其利用所述模型模拟所述处理装置的状态；

第一控制信号生成部，其利用由所述决定部决定的所述控制算法，基于所述测定值生成所述控制信号，将所生成的所述控制信号输入给所述处理装置；

特征量生成部，其在比第一周期长的每个第二周期内，生成表征在每个所述第一周期内测定的所述测定值的特征的特征量；

第二控制信号生成部，其利用由所述决定部决定的所述控制算法，基于与所述测定值对应的所述模拟部的输出值生成所述控制信号，将所生成的所述控制信号输入给所述模拟

部；

第一调整部，其调整所述模型所含的模型参数的值，使得对应于所述特征量的所述测定值与所述模拟部的输出值的差变小；和

第二调整部，其调整所述第二控制信号生成部所使用的所述控制算法所含的控制参数的值，使得对于使用了包含调整后的所述模型参数的值的所述模型的所述模拟部的输出值算出的评价值接近目标值，

所述第一控制信号生成部利用被所述第二调整部调整后的所述控制参数的值生成所述控制信号，

所述决定部、所述模拟部、所述第二控制信号生成部、第一调整部和第二调整部由第一装置实现，所述第一控制信号生成部和所述特征量生成部由第二装置实现。

2.如权利要求1所述的控制系统，其特征在于：

所述决定部基于所述方案对多个所述模型进行决定，

所述第一调整部对于由所述决定部决定的多个所述模型，分别调整所述模型所含的模型参数的值，使得所述测定值与所述模拟部的输出值的差变小，在调整后的所述模型和所述模型参数的值的组合中，将所述测定值和与所述测定值对应的所述模拟部的输出值的差最小的组合决定为调整后的模型和模型参数的值，

所述第二调整部调整所述第二控制信号生成部所使用的所述控制参数的值，使得对于使用了包含由所述第一调整部决定的所述模型参数的值的所述模型的所述模拟部的输出值算出的评价值接近目标值。

3.如权利要求2所述的控制系统，其特征在于：

所述决定部基于所述方案对多个所述控制算法进行决定，

所述第二调整部对于由所述