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离子注入光学玻璃光波导：制备工艺与特性的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技迅猛发展的时代，集成光学和光通信技术已成为推动信息领域进步的关键力量，在通信、传感、计算等多个领域有着广泛应用。其中，光波导作为集成光路的基本构成单元，扮演着举足轻重的角色，能够将光波约束在微米量级的介质内进行长距离无辐射传输，为实现光信号的高效传输与处理奠定了基础。

制备光波导的方法众多，包括离子注入、离子置换、薄膜沉积以及飞秒刻蚀等。离子注入技术凭借独特优势，在光波导制备领域脱颖而出。该技术通过将离子加速注入材料，改变材料表面或近表面层性质，实现对光波导折射率分布的精确调控。与其他方法相比，离子注