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三级混合工艺超级纯水设备的设计与制造研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业和科研领域，超纯水的需求正呈现出迅猛增长的态势。随着科技的飞速进步，众多行业对水质的要求达到了前所未有的高度，超纯水作为几乎不含杂质的高品质水源，成为了众多关键生产环节和科研实验不可或缺的基础材料。

在电子半导体制造领域，芯片制程技术不断朝着更小尺寸、更高性能的方向发展。在超大规模集成电路制造过程中，微小如纳米级别的杂质颗粒都可能导致芯片出现短路、性能不稳定等严重故障，进而影响整个电子产品的质量和可靠性。因此，需要使用电阻率高达18.2MΩ?cm以上的超纯水，以确保芯片制造的高精度和高可靠性。在芯片制造