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基于磁膜扭转的MEMS磁传感器：原理、设计与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的进程中，微机电系统（MEMS）技术已成为众多领域实现创新突破的关键支撑。自20世纪60年代MEMS概念首次被提出，历经理论探索与技术积淀，到80年代随着微电子制造技术的进步，MEMS迎来蓬勃发展期，成功制造出微型传感器、微型执行器等关键设备，并在医疗、汽车、航空航天等领域崭露头角。进入90年代，MEMS技术更是取得重大飞跃，集成微型管道和微流体控制系统，开启了微型生化分析和实验室芯片的新时代，为生物医学应用、环境监测等领域带来新的曙光。步入21世纪，纳米技术