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公司硅料腐蚀工职业健康、安全、环保操作规程

文件名称：公司硅料腐蚀工职业健康、安全、环保操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司硅料腐蚀工在日常工作中涉及硅料腐蚀工艺的操作。规程旨在确保员工在操作过程中的人身安全、健康和环境保护。所有硅料腐蚀工在操作前必须充分了解并遵守本规程，确保生产过程的安全、健康与环保。

二、操作前的准备

1.防护用具使用：

a.硅料腐蚀工在操作前必须穿戴符合标准的防护服，确保服装无破损，能够有效防护腐蚀性气体和液体。

b.头部保护：佩戴安全帽，防止头部受到撞击。

c.手部保护：佩戴耐腐蚀手套，避免直接接触腐蚀性物质。

d.眼部保护：佩戴防化学品溅射的眼镜，确保眼睛安全。

e.防护鞋：穿戴防滑、防腐蚀的防护鞋，防止滑倒和化学品渗透。

2.设备启机前的检查项目：

a.检查设备外观是否完好，无松动、损坏现象。

b.检查设备电气线路，确保无裸露电线、插座等安全隐患。

c.检查腐蚀液位，确保腐蚀液在正常范围内。

d.检查腐蚀液的酸碱度，确保符合工艺要求。

e.检查腐蚀液循环泵、搅拌器等设备是否正常运转。

f.检查设备冷却系统，确保冷却水充足且循环正常。

3.作业区域准备要求：

a.作业区域应保持清洁、整洁，无杂物堆积。

b.作业区地面应铺设防滑、防腐蚀材料，减少滑倒和化学品泄漏的风险。

c.作业区应配备应急洗眼器、喷淋装置等应急设施，确保紧急情况下的安全处理。

d.作业区内不得存放易燃易爆物品，确保作业环境安全。

e.作业区应设置警示标志，提醒工作人员注意安全。

f.作业区应定期进行通风，确保空气流通，降低有害气体浓度。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作或工艺执行步骤流程：

a.启动设备：先开启冷却水系统，然后启动腐蚀液循环泵，确保设备冷却系统正常工作。

b.加入腐蚀液：按照工艺要求，缓慢加入腐蚀液至指定液位，避免过量或不足。

c.加载硅料：将硅料平稳放置于腐蚀槽内，注意不要触碰腐蚀液。

d.启动搅拌器：启动搅拌器，确保腐蚀液均匀循环，硅料与腐蚀液充分接触。

e.控制温度：根据工艺要求，调节加热器，控制腐蚀液温度在规定范围内。

f.观察监控：实时监控腐蚀液温度、液位和硅料腐蚀情况，确保工艺参数稳定。

g.停止操作：完成腐蚀过程后，关闭加热器和搅拌器，停止腐蚀液循环。

h.清理设备：腐蚀结束后，清理设备内外，更换新的腐蚀液。

2.特殊工序的操作规范：

a.对于特殊硅料，需按照特殊工艺要求调整腐蚀液配方和操作参数。

b.特殊硅料在加载过程中，应使用专用工具，避免手工直接接触。

c.特殊工序完成后，应进行严格的检测，确保产品质量符合要求。

3.异常工况的处理方法：

a.若出现腐蚀液泄漏，立即关闭相关设备，隔离泄漏区域，使用吸油棉或沙土吸收泄漏物，然后进行清理。

b.若设备发生故障，立即停止操作，切断电源，通知维修人员处理。

c.若发现腐蚀液温度异常，立即停止加热器，检查冷却系统，恢复正常后再继续操作。

d.若发生人员受伤，立即进行急救，并报告上级，同时采取必要措施防止事故扩大。

e.若发现空气质量超标，立即开启通风系统，必要时撤离作业区域，确保人员安全。

四、操作过程中机器设备的状态

1.设备运行时的正常工况参数：

a.腐蚀液温度：根据工艺要求，保持腐蚀液温度在设定的范围内，通常为40-60℃。

b.腐蚀液液位：设备运行过程中，腐蚀液液位应保持在设备规定的上限和下限之间，避免过满或过少。

c.循环泵压力：循环泵正常工作时，压力应稳定在规定范围内，确保腐蚀液循环顺畅。

d.搅拌器转速：搅拌器转速应与工艺要求相符，以保证腐蚀液均匀混合，硅料得到充分腐蚀。

e.电流电压：设备运行时，电流电压应稳定，无过大波动，确保设备安全稳定运行。

2.典型故障现象：

a.腐蚀液温度异常：可能由于加热器故障、冷却系统堵塞或温度控制器失灵引起。

b.循环泵压力降低：可能是泵叶轮损坏、管道堵塞或泵密封不良所致。

c.搅拌器转速不稳定：可能是电机故障、传动带松弛或轴承磨损。

d.设备振动或噪音增大：可能是设备安装不稳定、轴承磨损或齿轮损坏。

3.状态监测的操作要求：

a.操作人员应定期检查设备运行参数，如温度、压力、电流电压等，确保其处于正常范围内。

b.使用温度计、压力表、电流电压表等工具进行实时监测，记录数据，以便分析和调整。

c.设备运行过程中，注意观察设备外观是否有异常现象，如泄漏、磨损、松动等。

d.发现异常现象时，应立即停止设备运行，进行初步判断，必要时