CN120303211A 臭氧供给装置及臭氧供给方法 （三菱电机株式会社）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN120303211A

(43)申请公布日2025.07.11

(21)申请号202280102168.6(51)Int.Cl.

C01B13/10(2006.01)

(22)申请日2022.12.13

(85)PCT国际申请进入国家阶段日

2025.05.27

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/JP2022/0457732022.12.13

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/127482JA2024.06.20

(71)申请人三菱电机株式会社

地址日本东京

(72)发明人松浦洋航生沼学古贺大道

安永望有马芳明

(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

司31100

专利代理师邓晔宋俊寅权利要求书2页说明书7页附图8页

(54)发明名称

臭氧供给装置及臭氧供给方法

(57)摘要

本发明的臭氧供给装置包括：产生臭氧的臭

氧发生器(1)、吸附和脱附所述臭氧的吸脱附塔

(2)、用于将由所述臭氧发生器产生的臭氧化气

体输送到所述吸脱附塔的臭氧化气体输送回路

(7)、对所述吸脱附塔(2)导入加压后的载气的加

压机构(3)或对所述吸脱附塔(2)进行减压的减

压机构(4)、内包有吸附所述臭氧的吸附剂且抑

制所导入的所述臭氧的浓度变动的臭氧缓冲装

置(5)、以及用于将从所述吸脱附塔(2)脱附的臭

氧输送到所述臭氧缓冲装置(5)之后提供给供给

对象的脱附气体输送回路(6)。

A

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CN120303211A权利要求书1/2页

1.一种臭氧供给装置，其特征在于，包括：

臭氧发生器，该臭氧发生器产生臭氧；

吸脱附塔，该吸脱附塔吸附和脱附所述臭氧；

臭氧化气体输送回路，该臭氧化气体输送回路用于将由所述臭氧发生器产生的臭氧化

气体输送到所述吸脱附塔；

对所述吸脱附塔提供加压后的载气的加压机构及对所述吸脱附塔内的气体进行减压

的减压机构中的至少一个；

臭氧缓冲装置，该臭氧缓冲装置内包用于吸附所述臭氧的吸附剂，且抑制从所述吸脱

附塔脱附并被输送的所述臭氧的浓度变动；以及

脱附气体输送回路，该脱附气体输送回路用于将通过所述载气供给而从所述吸脱附塔

脱附的臭氧输送到所述臭氧缓冲装置，且将其从所述臭氧缓冲装置提供给供给对象。

2.如权利要求1所述的臭氧供给装置，其特征在于，

所述臭氧缓冲装置具有设置在所述供给对象侧的背压阀，

内包于所述臭氧缓冲装置中的吸附剂构成为向该吸附剂整体提供臭氧气体。

3.如权利要求2所述的臭氧供给装置，其特征在于，

所述臭氧缓冲装置构成为制冷剂被输送到所内包的吸附剂周围。

4.如权利要求1至3中任一项所述的臭氧供给装置，其特征在于，

还包括控制器，该控制器在根据所述臭氧缓冲装置的入口的臭氧浓度，进行使从所述

吸脱附塔脱附的臭氧被内包于所述臭氧缓冲装置中的吸附剂吸附、或使所述臭氧从内包于

所述臭氧缓冲装置中的吸附剂脱附的控制时，进行下述控制，即：在所述臭氧浓度高于规定

浓度时，利用内包于所述臭氧缓冲装置中的吸附剂吸附一部分臭氧，在所述臭氧浓度低于

规定浓度时，使一部分臭氧从内包于所述臭氧缓冲装置中的吸附剂脱附。

5.如权利要求4所述的臭氧供给装置，其特征在于，

所述减压机构是真空泵，

所述臭氧供给装置包括：