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半导体激光器性能检测规范

一、引言

1.1目的与意义

本规范旨在为半导体激光器（以下简称“激光器”）的性能检测提供统一、科学、严谨的技术指导，确保检测结果的准确性、可靠性和可比性。通过系统的性能评估，旨在保障激光器产品在研发、生产、验收及应用各环节的质量控制，为激光器的选型、应用以及相关设备的集成提供客观依据，促进半导体激光技术的健康发展与应用推广。

1.2适用范围

本规范适用于以半导体材料为工作物质的激光器，包括但不限于边发射激光器、垂直腔面发射激光器（VCSEL）、光纤耦合输出半导体激光器等。其波长范围主要覆盖紫外至红外波段。本规范规定的检测项目和方法适用于激光器的出厂检验、型式试验以及科研过程中的性能评估。对于特定领域（如医疗、军事）有特殊要求的激光器，除应符合本规范的基本要求外，还应遵循相关行业的特定标准。

1.3规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

（此处应列出相关的国家标准、行业标准或国际标准，例如：GB/TXXXX-XXXX《半导体激光器测试方法》,IEC____系列标准等。实际应用中需根据具体情况更新。）

1.4术语与定义

1.4.1半导体激光器SemiconductorLaserDiode(LD)

以半导体材料作为增益介质，通过受激辐射产生相干光输出的器件。

1.4.2光输出功率OpticalOutputPower

激光器在规定工作条件下，输出激光的功率大小，单位为瓦特（W）。对于脉冲激光器，也常用能量（焦耳J）表示。

1.4.3中心波长CentralWavelength

光谱功率分布中，最大光功率所对应的波长，单位为纳米（nm）。

1.4.4光谱宽度SpectralWidth

通常指在光谱功率分布中，光功率下降到最大值的一半（FWHM）时对应的波长范围，单位为纳米（nm）。

1.4.5光束发散角BeamDivergenceAngle

描述激光束从激光器输出后，光束直径随传播距离增加而扩大的角度，通常以全角表示，单位为毫弧度（mrad）或度（°）。

1.4.6阈值电流ThresholdCurrent

激光器输出功率随注入电流变化曲线中，输出光功率开始急剧增加时的注入电流值，单位为毫安（mA）。

1.4.7斜率效率SlopeEfficiency

激光器阈值以上，输出光功率增量与注入电流增量之比，单位为瓦特每安培（W/A）。

1.4.8光束质量因子BeamQualityFactor(M2)

实际光束与理想高斯光束的接近程度，M2=1表示理想高斯光束，M2值越大，光束质量越差。

二、检测项目与方法

2.1光输出功率/能量特性

2.1.1连续光输出功率

检测目的：测量激光器在连续工作模式下的光输出功率。

检测方法：

1.将激光器固定在光学调整架上，确保激光输出方向对准光功率计探头的感光面中心。

2.按照激光器规定的条件（如工作温度、驱动电流）进行预热和设置。

3.待输出稳定后，读取光功率计示值。对于具有不同功率档位的激光器，应在关键档位分别进行测量。

4.建议在相同条件下进行多次测量（如3-5次），取平均值作为测量结果，并记录最大值与最小值。

注意事项：确保激光束完全入射到功率计探头内，避免杂散光干扰，必要时使用光陷阱吸收未被探头接收的激光。对于高功率激光，需使用衰减器，并进行衰减校正。

2.1.2脉冲光输出能量/峰值功率

检测目的：测量激光器在脉冲工作模式下的单脉冲能量及峰值功率。

检测方法：

1.类似2.1.1步骤设置光路，使用能量计或具备脉冲测量功能的功率计/示波器（配合光电探测器）。

2.设置激光器为脉冲工作模式，调整重复频率、脉冲宽度等参数至规定值。

3.触发能量计或示波器，测量单脉冲能量。若使用示波器配合快响应光电探测器和已知增益的光电转换电路，可通过测量脉冲波形的面积（能量）和高度（峰值功率）。

4.多次测量取平均值，并记录能量稳定性。峰值功率可由单脉冲能量除以脉冲宽度（半高全宽）估算（对于矩形脉冲）或通过波形分析得到。

2.2光谱特性

2.2.1中心波长与光谱宽度

检测目的：确定激光器输出激光的中心波长及其光谱宽度。

检测方法：

1.将激光器输出光束耦合进入光谱仪的入射狭缝。可使用光纤耦合或直接空间耦合，确保足够的光功率进入光谱仪。

2.设置激光器工作在额定条件下，待稳定后采集光谱。

3.通过光谱仪配套软件分析光谱曲线，读取峰值波长作为中心波长，测量峰值半高宽（FWHM）作为光谱宽度。

4.记录光谱仪的分辨率设置，其应小于被测量光谱宽度