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《微束分析扫描电子显微术分辨率第1部分：纳米级长度标尺校准方法》标准化发展报告
EnglishTitle:*StandardizationDevelopmentReportonMicrobeamAnalysis—ScanningElectronMicroscopy—Resolution—Part1:CalibrationMethodofImageMagnificationforNanometerScale*
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摘要
随着半导体制造、纳米材料、生物医学等前沿科技领域向纳米尺度不断深入，对微观结构的精确测量提出了前所未有的高要求。扫描
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