纳米压印技术制备电润湿显示器单元格的工艺探索与研究.docx

纳米压印技术制备电润湿显示器单元格的工艺探索与研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今科技飞速发展的时代，微纳制造技术作为现代制造业的前沿领域，对于推动众多学科和产业的进步发挥着关键作用。纳米压印技术作为微纳制造领域中的一项关键技术，自问世以来便备受关注。传统的光刻技术在不断追求更高分辨率和更小尺寸的过程中，面临着诸如设备成本高昂、工艺复杂以及物理极限等诸多挑战。例如，极紫外光刻技术（EUV）虽然能够实现极高的分辨率，但其设备造价高达数亿美元，且维护成本极高，使得许多科研机构和企业难以承受。而纳米压印技术的出现，为解决这些问题提供了新的思路。

纳米压印技术基于物理模板转移原理，通过将具有