CN118424092A 一种柔性压阻式应变传感器制作方法 （西南科技大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN118424092A

(43)申请公布日2024.08.02

(21)申请号202410340033.4

(22)申请日2024.03.25

(71)申请人西南科技大学

地址621010四川省绵阳市涪城区青龙大

道中段59号

(72)发明人李晓红王艺杰李国强

(74)专利代理机构重庆红石子知识产权代理事

务所(普通合伙)50266

专利代理师谭科学

(51)Int.Cl.

G01B7/16(2006.01)

A61B5/11(2006.01)

C01B32/184(2017.01)

权利要求书2页说明书7页附图6页

(54)发明名称

一种柔性压阻式应变传感器制作方法

(57)摘要

本发明公开了一种柔性压阻式应变传感器

制作方法,包括以下步骤：采用红外激光器对碳

前驱体沿一方向进行激光诱导制备得到激光诱

导石墨烯；将所述激光诱导石墨烯贴于水溶性胶

带后施压以使激光诱导石墨烯完全转印至水溶

性胶带上，得到转印件；将有可固化硅胶溶液均

匀涂抹在所述转印件上后进行干燥固化，得到第

一半成品件；将所述第一半成品件浸泡于去离子

水中使所述水溶性胶带脱离于所述第一半成品

件，得到第二半成品件；用红外激光器沿垂直于

第二件半成品重复上述步骤；将所述第二半成品

件浸泡于纳米材料溶液中，得到可实现二个垂直

A方向应变检测的应变传感器结构。其方法简单，

2整个过程不需要借助催化剂、高温高压环境，制

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0

4备成本低且制备得到的传感器性能佳。

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4

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1

1

N

C

CN118424092A权利要求书1/2页

1.一种柔性压阻式应变传感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

采用红外激光器对碳前驱体沿一方向进行激光诱导制备得到激光诱导石墨烯；

将所述激光诱导石墨烯贴于水溶性胶带后施压以使激光诱导石墨烯完全转印至水溶

性胶带上，得到转印件；

将可固化硅胶溶液涂抹在所述转印件上后进行干燥固化，得到具有柔性硅胶基底的第

一半成品件；

将所述第一半成品件浸泡于去离子水中使所述水溶性胶带脱离于所述第一半成品件，

得到第二半成品件；

将所述第二半成品件浸泡于纳米材料溶液中，得到可实现二个垂直方向应变检测的应

变传感器结构。

2.根据权利要求1所述的一种柔性压阻式应变传感器的制作方法，其特征在于：所述红

外激光器为红外纳秒脉冲激光器；

在进行激光诱导时，所述红外纳秒脉冲激光器的功率设置为8‑11W、扫描速度设置为

22‑44mm/s、线间距设置为0.02‑0.1mm，脉冲频率为20000‑25000KHz。

3.根据权利要求1所述的一种柔性压阻式应变传感器的制作方法，其特征在于：所述纳

米材料溶液为由0D纳米材料和1D纳米材料组成的混合溶液。

4.根据权利要求3所述的一种柔性压阻式应变传感器的制作方法，其特征在于：所述0D

纳米材料为银纳米颗粒，所述1D纳米材料为多壁碳纳米管。

5.根据权利要求4所述的一种柔性压阻式应变传感器的制作方法，其特征在于：银纳米

颗粒和多壁碳纳米管的混合溶液中，多壁碳纳米管的含量大于等于0.01％且小于等于

0.06％。

6.根据权利要求5所述的一种柔性压阻式应变传感器的制作方法，其特征在于：所述多

壁碳纳米管的含量为0.01‑0.1％。

7.根据权利要求1所述的一种柔性压阻式应变传感器的制作方法，其特征在于：所述将

可固化硅胶溶液均匀涂抹在所述转印件上后进行干燥固化之前还包括：

将硅胶溶液和固化剂按1：1的比