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洁净厂房洁净度等级全解析：标准、配置与应用

洁净厂房（俗称净化间）作为空气悬浮粒子浓度受控的核心空间，其建造与使用需严格控制粒子的诱入、产生及滞留，同时对温度、湿度、压力等关键参数进行精准调控。洁净度等级以单位体积空气某粒径粒子的数量为核心划分依据，数值越小代表净化级别越高，等级排序为：十级＞百级＞千级＞万级＞十万级＞三十万级＞百万级。不同等级的洁净厂房在标准要求、设备配置及应用场景上存在显著差异，以下将结合具体数据与细节展开全面解析。

一、洁净厂房洁净度等级核心标准对比表

洁净度等级

核心洁净度要求(粒子数量)

温度控制

湿度控制

压差要求

照度要求

换气次数/净化

时间

十级

粒径≥0.1μm的最大微粒数≤10个/m3;粒径≥0.2μm的最大微粒数≤2个/m3

22±1℃

55%±3%

相邻房间压力梯度

≥15Pa(正压);与室外压差≥20Pa

≥500Lx,照度

均匀度≥0.8

FFU满布率100%,平均风速0.3~0.5m/s,无明确换气次数要求

百级

粒径≥0.1μm的最大微粒数≤100个/m3

22℃±2℃

55%±5%

相邻房间压力梯度

≥10Pa(正压)

无明确单独规定，需满足精细作业需求

无明确换气次数，依赖净化

系统效能

千级

粒径0.5μm的微

尘数≤3500个/m3(国际A级);高标芯

片生产≤1000个/m3

无明确统一规定，按工艺需求调整

无明确统一规

定，按工艺需

求调整

洁净空间非洁净空间；高等级＞邻空间

无明确单独规定，需满足生产作业需求

无明确换气次数，依赖新风

量补偿泄漏风量

万级

粒径≥0.5μm:35000粒/m3数量≤350000粒/m3;粒径≥5μm:300粒/m3数量≤3000粒/m3

无明确统一规定，由干盘管系统调控

无明确统一规

定由干盘管系统调控

无明确单独规定，需符合洁净室压力梯度基本原则

无明确单独规定，需满足生产作业需求

无明确换气次数，依赖空调

箱调节系统

十万级

微粒总数≤100000个/m3

冬季20~22℃,夏季24~26℃,波动±2℃

冬30%~50%,夏季50%~70%

同等级洁净室压差一致；不同等级相邻≥5Pa;洁净室与非洁净室10Pa

主要生产用房

≥300Lx;辅助

用房、走廊等

200~300Lx

每小时换气15~19次；完全换气后净化时间≤40分钟

三十万级

粒径≥0.5μm个/m3;粒径≥5μm≤60000个/m3;浮游菌

≤1000个/m3

无明确统一规定，按工艺需求调整

无明确统一规

定，按工艺需

求调整

不同等级相

邻≥5Pa;

洁净室与室

外≥10Pa

无明确单独规定，需满足基础作业需求

无明确换气次数，依赖净化

系统配置

百万级

无明确粒子数量规定，

以空气洁净度测试结果

为核心依据

无明确统一规定，按工艺需

求调整

无明确统一规

定，按工艺需

求调整

无明确单独

规定，需符

合基础洁净压力要求

无明确单独规

定，需满足基

础作业需求

按高中效净化系统设计，换

气次数按需调整

二、各等级洁净厂房详细要求与设备配置

（零）十级洁净室

1.核心要求

洁净度：作为最高等级洁净室，严格控制极小粒径微粒，粒径≥0.1μm的微粒数≤10个/m3，粒径≥0.2μm的微粒数≤2个/m3，无可见尘埃与微生物污染。

温湿度：控制精度高于其他等级，温度稳定在22℃±1℃，湿度控制在55%±3%，避免温湿度波动影响超高精密工艺。

压差：维持极高正压，相邻房间压力梯度≥15Pa，与室外压差≥20Pa，彻底阻断外部污染空气渗入。

照度：需满足超精细作业需求，照度≥500Lx，照度均匀度≥0.8，无眩光、无阴影，保障操作精度。

2.设备配置

净化系统：采用MAU（新风机组）+100%满布FFU（风机过滤机组，配ULPA超高效过滤器）+DC（干盘管）+化学过滤器系统，ULPA过滤器对0.1~0.2μm微粒过滤效率≥99.999%。

气流组织：采用垂直单向流气流，FFU满布率100%，控制平均风速在0.3~0.5m/s，确保室内无气流死角。

温湿度调控：配备高精度恒温恒湿机组，搭配精密传感器与PLC控制系统，温湿度波动控制在极小范围。

监测与管控：配置激光粒子计数器（可检测0.1μm粒径）、在线温湿度/压差监测仪，数据实时上传至中央控制系统，异常时自动报警并联动调控。

围护与地面：采用不锈钢或电解板等高品质洁净围护材料，接缝全焊接密封；铺设防静电高架地板，兼具防尘、易清洁与管线布局功能。

（一）百级洁净室

1.核心要求

洁净度：严格控制粒径≥0.1μm的微粒，数量不得超过100个/m3，是高精密生产的核心空间。

温湿度：温度稳定在22℃±2℃，湿度控制在55%±5%，需维持稳定的温湿度环境以保障精密工艺质量。

压差：必须保持正压状态，相邻房间的