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超大面积洁净厂房的检测实践

0?引言

?随着中国国内电子工业的快速发展，集成电路芯片制造和液晶显示器面板（TFT-LCD）制造的生产工厂已经建设或正在建设达数几十家，12英寸晶圆生产线也已有较多条建成投入生产。由于产品生产工艺的特点，此类生产用洁净厂房的洁净度级别要求都较高，大面积区域洁净度等级为ISO4.5级～ISO5.5级，生产部位需达到ISO2级～ISO3级（0.1μm），洁净区层高最高达到7.5m甚至9m，洁净区面积超大，一条8.5代生产线洁净室面积达50余万m2，单一洁净室面积达8万m2或以上，净化空调系统为FFU+新风系统，FFU总数量有8万台左右，检测工作量巨大，测试实施难度也远超各类洁净厂房。对于超大洁净厂房的检测方法，笔者现以在这类洁净厂房的检测实践进行分析总结。

1?超大面积洁净厂房检测参数及技术指标

?电子工业洁净厂房环境参数的良好与否直接影响其产品的良品率，保证洁净室静态和动态下各参数始终符合设计要求至关重要。一般来说，电子工业洁净厂房对以下参数的检测均有严格要求，如新风量、工艺排气和一般排气量、FFU风速（风量）、FFU安装后的检漏、洁净度等级、温湿度、噪声、照度、气流流型、静压差、微震、防静电等，除此之外还有超纯气体和超纯水的测试等，本文主要介绍洁净室主要参数的测试，下面以某8.5代液晶面板生产线的彩膜及成盒厂房（CFCELL）为例，表1为CFCELL洁净厂房的测试参数和主要技术指标，图1、图2为平面图、剖视图。

图1?洁净室平面图

图2?洁净厂房剖视图

表1?彩膜及成盒洁净厂房的测试参数和主要技术指标

2FFU面风速测试

?关于FFU面风速，依照国家标准《洁净厂房施工及质量验收规范》GB51110以及ISO14644-3的要求，测试过滤器面风速的方法应在距滤网150mm处采用单点风速仪或多点风速仪按滤网面积布置测试点，各点的均值为此滤网的面风速值。实际检测程中，由于液晶显示面板洁净厂房的净高很高，测试需要借助加长杆或者移动式升降机或者三层的移动井字架方可实施检测，工作效率较低，且高空作业存在一定的安全隐患，另外由于建设工期所限，测试工作量巨大但现场给予的测试时间很紧张，一旦产品生产工艺设备搬入后，将无法行走升降机或者井字架，风速测试将难以进行。鉴于此，我们将测试工作面移至上技术夹层，采用电子式风量罩测试FFU风机侧进风量，换算成滤网侧风速值，或者直接在风量罩上设置好滤网尺寸可以直接读出滤网风速。为严谨起见，我们进行了对比验证，对洁净室的不同区域抽取5台FFU，在室内用多点风速仪方法测试，以1200mm×1200mm的截面共取四点，并同时在FFU上风侧的上技术夹层的风机侧用风量罩直接测量，读取数据，测试数据对比见表2。从表2中数据比较测试偏差都在3%以内，未超过风量罩和多点风速仪测试的系统误差，表明在FFU风机侧测量进风风量后换算成FFU出风风速的方法是可行的。图3是多点风速仪测试现场照片，图4在FFU上风侧采用风量罩测试照片。

图3?多点风速仪测试

图4FFU上风侧风量罩测试

3已装高效过滤器泄漏检测

??国内外的标准规范中对于高效过滤器泄漏检测方法的规定，均采用分光度计法和粒子计数法，由于光度计法需要同时监测过滤器上下方浓度，在电子工业的高空间、大面积和FFU数量巨大的状况下，采用光度计法进行FFU安装后检漏既需时间长、又实际检测作业困难，所以目前在超大面积电子洁净厂房均采用粒子计数法实施FFU泄漏检测。测试图见图5、图6。粒子计数法实施FFU泄漏检测时，有两个重要的因素，一个是测试用尘源，一个是上方尘源浓度。关于尘源，国内外标准规范大都推荐采用人工尘源，如DOP、PAO、PSL或是DEHS，有的规范也可使用大气尘源，笔者认为对于超大面积洁净厂房洁净度等级ISO5级混合流洁净室（区）的FFU泄漏检测，使用大气尘源能够满足检测需要。通常情况下人工尘源有着浓度、粒径可控的优点，在小批量已装高效空气过滤器泄漏检测时测试精度、稳定性较好，检测费用和时间可以接受;但空气过滤器数量巨大时，则非常麻烦，费时费力成本高，可操作性较差，尤其是时间成本难以承受。若采用大气尘为尘源则简便易行，检测时只要在对应区域内引入适量新风，并在过滤器上方取样测试一次浓度，其余操作都在滤网下方进行。按照“规范”规定的采样流量、速率以及采样头尺寸，一台规格为1200×1200FFU测试时间应不少于5min，一套测试仪器、设备和人员一天可完成已装空气过滤器泄漏检测的数量（按每天工作时间10h）约80台～100台，一个8.5代TFT-LCD的一个洁净室就有近3.2万台FFU，如果只用一套设备将需要至少连续不停320天才能完成工作，若用5套粒子计数器、20名测试人员每日不停测试，也需耗时60余