扫描干涉仪使用手册.pdfVIP

Themanualofscanninginterferometer

Productionunit：

StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasurementTechnologyand

InstrumentsofTsinghuaUniversityJointmanufacture

BeijingTuodaLaserInstrumentCO.,Ltd

ADD：No.11JianhuaSouthRoad,JiangguomentWai,BeijingP.C：100022

TEL：（010FAX：（010

Bank：ICBCBeijing,ChaoyangBranch,OperationDepartmentA/CNO.：0

WebADD：E-mail：Sa@T

扫描仪手册

扫描仪由精密测量技术与仪器国家重点和图达激光仪器

联合制造。使用共焦球面的扫描激光仪是一种高分辨率设备，可用于观

察、测量和分析激光模式（频率）。

1.适用范围

App适用于He‑Ne激光模型（频率）的观察、测量和分析

2.组成与工作原理

扫描仪由扫描头和二维调节器组成。关键部件是由一对凹面镜构成的法

布里‑珀涉仪（F‑P腔），其中一个凹面镜连接到压电陶瓷（PZT），并通过

PZT进行轴向拉伸，以改变仪（F‑P腔）的长度。

入射F‑P腔长度

PZT

直流电压

输出

资源

凹面镜1凹面镜2

图2：扫描仪

对于一个F‑P腔长度，只有满足建设性条件的频率才能通过F‑P腔，其他频率

则不能。如果激光输出多个纵模（即频率），它们的分布频率范围将比法布里‑珀罗腔

的自由光谱范围窄。通过PZT扫描，F‑P腔长度发生变化，每个激光频率将依次通过

F‑P腔。实际上，扫描仪根据各同时振荡的纵模的频率大小进行时间调度，并将它

们逐一转换为电信号，然后通过示波器观察（见图2）。如果PZT在驱动电压的作用下

线性伸展，频率之间的差异将线性地转化为时间间隔。F‑P腔输出处的光电探测器将每

个频率的光强度转换为电压，显示在示波器上。峰间的时间间隔代表相关纵模之间的

频率差，而峰高的差异则代表相关纵模的光强度差异。当某一纵模激光束时，示

波器上的相应峰值也会。当PZT伸长（或缩短）半个波长时，每个观察到的频率

会再次重复出现。

3.主要性能

Themanualofscanninginterferometer

Thescanninginterferometerarejointmanufacturedby