CN119148291A 一种光波导传感器及其制作方法、电子设备 （苏州元脑智能科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119148291A

(43)申请公布日2024.12.17

(21)申请号202411379775.4G01D5/38(2006.01)

(22)申请日2024.09.30

(71)申请人苏州元脑智能科技有限公司

地址215100江苏省苏州市吴中经济开发

区郭巷街道官浦路1号9幢

(72)发明人韩云奇王志越王龙罡

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师乔征帅

(51)Int.Cl.

G02B6/124(2006.01)

G02B6/12(2006.01)

G02B6/14(2006.01)

G02B6/13(2006.01)

G01D5/353(2006.01)

权利要求书2页说明书9页附图3页

(54)发明名称

一种光波导传感器及其制作方法、电子设备

(57)摘要

本发明涉及光波导器件技术领域，公开了一

种光波导传感器及其制作方法、电子设备，包括：

硅基背板；在硅基背板的两侧均设置有波导结

构；在硅基背板的中间区域设置有双狭缝光栅结

构；双狭缝光栅结构包括沿第一方向延伸且相互

平行的两条狭缝，以及沿与第一方向垂直的第二

方向延伸的具有周期分布的多个光栅；在波导结

构与双狭缝光栅结构之间设置有过渡结构。这样

的光波导传感器可以将光纤中的光很好地耦合

进波导中，耦合效率高，灵敏度高，成本低，且能

够实现与电路的集成，通过对光信号的探测来实

现对环境介质的分析检测，进而在保持高精度的

A前提下监测设备液冷介质温度的变化。

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CN119148291A权利要求书1/2页

1.一种光波导传感器，其特征在于，包括：

硅基背板；

在所述硅基背板的两侧均设置有波导结构；

在所述硅基背板的中间区域设置有双狭缝光栅结构；所述双狭缝光栅结构包括沿第一

方向延伸且相互平行的两条狭缝，以及沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸的具有周期

分布的多个光栅；

在所述波导结构与所述双狭缝光栅结构之间设置有过渡结构。

2.根据权利要求1所述的光波导传感器，其特征在于，所述过渡结构包括：与所述波导

结构相邻的第一耦合区域；

所述第一耦合区域为锥形结构；所述第一耦合区域靠近所述波导结构的一侧大于远离

所述波导结构的另一侧。

3.根据权利要求2所述的光波导传感器，其特征在于，所述过渡结构还包括：与所述第

一耦合区域相邻的第二耦合区域；

所述第二耦合区域靠近所述双狭缝光栅结构的一端具有两个锥形槽结构；

所述两个锥形槽结构与所述双狭缝光栅结构的两条狭缝进行对接。

4.根据权利要求3所述的光波导传感器，其特征在于，在所述双狭缝光栅结构中，两条

狭缝和多个光栅所在区域组成依次相连的第一子区域，第二子区域，第三子区域，第四子区

域和第五子区域；

所述第一子区域和所述第五子区域为只具有狭缝的区域；

所述第二子区域和所述第四子区域为两条狭缝与一部分光栅非相交的区域；

所述第三子区域为两条狭缝与另一部分光栅相交的区域。

5.根据权利要求4所述的光波导传感器，其特征在于，所述过渡结构还包括：与所述第

二耦合区域相邻的第三耦合区域；

所述第三耦合区域包含所述第一子区域，所述第二子区域，所述第四子区域和所述第

五子区域。

6.根据权利要求5所述的光波导传感器，其特征