硅基之光：MMIC双极型高频微波晶体管的结构、性能与工艺探索.docx

硅基之光：MMIC双极型高频微波晶体管的结构、性能与工艺探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代通信技术飞速发展的大背景下，人们对通信速度、质量以及可靠性的要求达到了前所未有的高度。从5G通信网络的广泛部署，到6G通信技术的前瞻性研究，通信频段不断向高频拓展，数据传输速率持续攀升，这对微波器件的性能提出了极为严苛的要求。高性能微波器件作为通信系统的核心组件，其性能优劣直接关乎通信质量、信号传输的稳定性以及系统的整体效能。

MMIC（单片式微波集成电路）凭借其集成度高、器件紧凑、性能稳定等显著优势，在微波通信、雷达、卫星等诸多领域得到了广泛应用。在微波通信系统中，MMIC可用于构