原创力文档摘要
高精密水下超声检测在海洋资源勘探和水下目标探测领域具有重要应用价
值。目前国内在高分辨率水下超声领域研究相对不足，主要采用传统压电陶瓷超
声换能器和电容式微机械超声换能器，但这些技术存在体积大、驱动电压高、接
收灵敏度低以及易受环境干扰等问题。相比之下，压电式微机械超声换能器
(PiezoelectricMicromachinedUltrasonicTransducer,PMUT)具有微型化、低电压驱
动和高灵敏度等优势。特别是氮化铝(AlN)压电材料的PMUT，不仅与CMOS工
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