原创力文档摘要
超声换能器在微纳操作、精密制造等领域应用广泛，其工作性能与外力载荷
变化密切相关。在无负载情况下对换能器测试无法反映出其实际性能，易导致共
振频率偏移、参数评估不准确等问题的发生。为辅助超声换能器研究，模拟换能
器在不同外力载荷下的工作过程，本文进行了引线键合超声换能器外力载荷加载
系统设计与控制。为提高测试的准确性和稳定性，本文围绕电磁力加载装置的优
化设计、键合头的结构改进、电磁力加载装置的控制策略以及特性测试等方面，
展开了如下工作：
（1）运用图解法、磁路欧姆定律，对电磁
摘要
超声换能器在微纳操作、精密制造等领域应用广泛，其工作性能与外力载荷
变化密切相关。在无负载情况下对换能器测试无法反映出其实际性能，易导致共
振频率偏移、参数评估不准确等问题的发生。为辅助超声换能器研究，模拟换能
器在不同外力载荷下的工作过程，本文进行了引线键合超声换能器外力载荷加载
系统设计与控制。为提高测试的准确性和稳定性，本文围绕电磁力加载装置的优
化设计、键合头的结构改进、电磁力加载装置的控制策略以及特性测试等方面，
展开了如下工作：
（1）运用图解法、磁路欧姆定律，对电磁
文档评论（0）