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离轴型CGH：解锁非球面检测的高精度密码

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学系统中，非球面光学元件的应用极为广泛，已成为推动众多领域技术发展的关键因素。非球面光学元件，其表面曲率从中心到边缘连续变化，与传统球面光学元件相比，具有无可比拟的独特优势。它能够提供更多的设计自由度，这使得光学系统在矫正像差方面具备更强的能力。在高端相机镜头中，非球面镜片的应用可以大幅减少图像的畸变和色差，使拍摄出的照片更加清晰、逼真，满足了人们对高质量图像的追求；在天文望远镜领域，非球面反射镜能够收集更多的光线，提高望远镜的分辨率，帮助天文学家更清晰地观测宇宙中的天体，探索宇宙的奥秘。

随着科技的迅猛发展，对光学系统性能的要求日益提高，非球面光学元件在航空航天、国防军事、生物医疗等众多领域的应用也越来越广泛。在航空航天领域，非球面光学元件被用于各种光学遥感设备，如高分辨率相机、红外探测器等，帮助实现对地球表面和宇宙空间的高精度观测，为卫星导航、气象预报、资源勘探等提供重要的数据支持；在国防军事领域，非球面光学元件在激光制导、夜视仪、瞄准镜等设备中发挥着关键作用，提升了武器装备的性能和作战能力，增强了国家的国防实力；在生物医疗领域，非球面光学元件被应用于显微镜、内窥镜、激光治疗设备等，为疾病的诊断和治疗提供了更精确的手段，推动了医疗技术的进步，拯救了无数生命。

然而，非球面的制造和检测技术一直是制约其发展和应用的关键瓶颈。非球面的加工难度较大，需要高精度的加工设备和先进的加工工艺，以确保非球面的面型精度达到设计要求。同时，非球面的检测技术也面临着诸多严峻挑战。非球面的面型复杂，难以用传统的检测方法进行准确测量。不同类型的非球面，如抛物面、双曲面、椭球面等，其检测方法和要求也各不相同，需要根据具体情况选择合适的检测技术。对于大口径、高精度的非球面，检测的难度更大，需要更高精度的检测设备和更先进的检测算法。面型检测技术是保障非球面加工精度的关键，直接关系到非球面光学元件的质量和性能。准确、高效的非球面检测技术能够及时发现加工过程中的误差和缺陷，为加工工艺的调整和优化提供依据，从而提高非球面的加工精度和成品率，降低生产成本。如果在非球面镜片加工过程中，面型检测出现失误，如欧洲南方天文台的新技术望远镜与美国航空航天局的哈勃空间望远镜，最终系统成像质量与设计目标相去甚远，只能通过后续“打补丁”来实现装置的正常工作，这不仅会造成巨大的经济损失，还可能影响整个项目的进度和应用效果。

基于计算全息（CGH）的检测方法作为一种新兴的非球面检测技术，近年来受到了广泛的关注和深入的研究。其中，离轴型CGH技术在非球面检测中展现出独特的优势和关键作用。离轴型CGH通过计算机算法将理想的非球面波前信息编码到全息图中，并引入离轴参考光，利用全息图的衍射特性产生与非球面理想波前相匹配的参考波前，与被测非球面反射或透射的实际波前进行干涉。这种技术能够有效分离零级衍射光和其他高级衍射光，避免它们之间的相互干扰，从而提高检测的精度和可靠性。离轴型CGH技术还可以根据不同非球面的特点和检测需求，灵活设计和优化全息图的参数和结构，具有很强的适应性和灵活性。研究离轴型CGH技术用于非球面检测，对于推动非球面光学元件的发展和应用具有重要的现实意义，能够为相关领域的技术进步提供有力的支持。

1.2国内外研究现状

非球面检测技术的发展源远流长，历经了多个重要的阶段。在早期，受限于技术水平，非球面检测主要依赖于简单的机械测量方法和光学原理，检测精度和效率都相对较低。随着科技的不断进步，特别是计算机技术、光学技术和精密机械技术的飞速发展，非球面检测技术取得了显著的突破。新的检测原理、方法和设备不断涌现，检测精度和效率得到了大幅提升，为非球面光学元件的广泛应用奠定了坚实的基础。

国外在非球面检测领域的研究起步较早，取得了一系列具有重要影响力的成果。美国在该领域处于世界领先地位，其科研机构和企业在非球面检测技术的研究和应用方面投入了大量的资源。例如，美国的Zygo公司研发的各类干涉仪，采用了先进的光学干涉技术，能够实现对非球面的高精度检测，在全球范围内得到了广泛的应用。该公司的GPIXP系列干涉仪，具有高精度、高分辨率的特点，可用于检测各种复杂形状的非球面光学元件，其检测精度可达纳米级，为非球面光学元件的制造和质量控制提供了强有力的支持。德国在光学制造和检测技术方面一直享有盛誉，其在非球面检测领域也有着深厚的技术积累。德国的一些知名企业和研究机构，如CarlZeiss公司，致力于非球面检测技术的研究和创新，开发出了一系列先进的检测设备和技术。CarlZeiss公司的高精度坐标测量机，结合了先进的光学测量技术和精密机械制造工艺，能够对非球面进行精确的测量和