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光学薄膜厚度实时监测系统：技术、实现与应用

一、引言

1.1研究背景与意义

光学薄膜作为现代光学领域的关键组成部分，在众多科学技术领域中发挥着不可或缺的作用。从光通信中的波分复用器到显示技术中的液晶显示器，从太阳能利用中的光伏电池到精密光学仪器中的镜头，光学薄膜的身影无处不在。它通过对光的反射、透射、吸收和偏振等特性的精确调控，赋予了光学器件独特的功能，极大地推动了相关领域的技术进步。

在光通信领域，波分复用技术是实现光通信巨大带宽容量的核心技术，而介质薄膜干涉滤光片型波分复用器则是该技术的关键器件，其由数十层光学薄膜构成，这些光学薄膜的光学特性，如薄膜厚度、膜层均匀性、膜层与膜层之间的间