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机器学习赋能芯片级版图热点检测：技术剖析与创新实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在当今数字化时代，芯片作为电子设备的核心部件，广泛应用于各个领域，从智能手机、电脑到汽车、航空航天等。随着集成电路技术的不断进步，芯片的集成度越来越高，特征尺寸不断缩小，这使得芯片的性能得到了显著提升。然而，这种发展也带来了一系列挑战，其中芯片级版图热点问题成为了制约芯片制造良率和性能的关键因素之一。

芯片级版图热点是指在芯片制造过程中，由于光刻、蚀刻等工艺的限制，版图中某些特定区域容易出现与设计预期不符的图形畸变、短路、断路等缺陷，这些区域被称为热点。这些热点问题会导致芯片的性能下降、可靠性降低，甚至直接导