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激光清洗碳化硅涂层石墨基座技术研究.pdf

激光清洗碳化硅涂层石墨基座技术研究.pdf

    摘要

    摘要

    金属有机化合物化学气相沉积法（MetalOrganicChemicalVaporDeposition，

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    方法。石墨基座是MOCVD设备中的核心零部件之一，直接决定薄膜材料的均

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