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多驱动模式并联机器人动态分析、优化及控制研究.pdf

多驱动模式并联机器人动态分析、优化及控制研究.pdf

    摘要

    精密定位机器人是电子封装作业的关键使能装备。随着高端电子设备的技术

    革新和需求激增，传统封装装备已不能满足日益精密且复杂的芯片制造工艺，这

    对封装装备提出了更高要求。以此为背景，本文以传统的3-RUU并联机构为基

    础构型进行创新设计，提出一种可实现多种驱动模式的三平动并联机器人，以适

    应多任务作业需求，并对之开展相关理论研究。全文取得如下成果：

    (1)在运动学方面，对机器人可实现的潜在驱动模式进行分析；借助螺旋理

    论与修正的G-K公式对机构进行自由度分析；根据闭环矢量法推导

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