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单频激光干涉系统：精密位移测量的核心技术与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技与工业生产的迅猛发展进程中，精密位移测量作为支撑众多领域进步的关键技术，其重要性愈发凸显。从半导体制造中对纳米级精度的极致追求，到航空航天领域对飞行器部件微小形变的精准把控，精密位移测量技术贯穿其中，为产品质量提升、科学研究突破提供了不可或缺的保障。单频激光干涉系统，凭借其独特的优势，在精密位移测量领域占据着举足轻重的地位。

单频激光干涉系统以激光的干涉原理为核心，利用激光的高单色性、高相干性等特性，将位移量转化为干涉条纹的变化，通过对干涉条纹的精确计数与分析，实现对微小位移的高精度测量。其测量精度