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ZnO薄膜材料的特性、制备及其在声学器件中的应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，声学器件在通信、传感、医疗、军事等众多领域中发挥着至关重要的作用。从日常使用的手机、耳机等消费电子产品，到高端的卫星通信、医学超声诊断设备，再到先进的军事声纳探测系统，声学器件的身影无处不在，它们为信息的传输、感知和处理提供了关键支持。

ZnO薄膜材料作为一种具有优异综合性能的功能材料，在声学器件领域展现出了巨大的应用潜力，受到了科研人员的广泛关注。ZnO是一种Ⅱ-Ⅵ族宽禁带化合物半导体材料，拥有六角纤锌矿型晶体结构。它具备诸多优良特性，例如较高的激子结合能（60me