2026及未来5年四氟化碳项目可行性研究报告
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TOC\o1-3\h\z\u1860摘要 3
22005一、项目背景与战略意义 5
135731.1四氟化碳在半导体与新能源产业中的关键作用机制 5
133381.2全球碳中和目标下含氟气体的战略地位演变 7
10492二、典型案例选择与剖析框架 10
243562.1典型案例遴选标准:技术路线、产能规模与可持续绩效 10
319262.2案例深度解析维度:技术创新路径、国际对标表现及环境足迹 13
10387三、技术创新角度的深度分析 15
23533.1四氟化碳合成工艺的前
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