高光学细分光栅干涉仪精密测量技术的深度剖析与创新实践.docx

高光学细分光栅干涉仪精密测量技术的深度剖析与创新实践

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，精密测量技术作为支撑众多领域发展的关键基础，其重要性不言而喻。从微观层面的芯片制造、生物医疗，到宏观层面的航空航天、高端装备制造等，精密测量技术都发挥着不可或缺的作用，成为推动各领域技术进步和产业升级的重要力量。

在工业制造领域，尤其是半导体制造产业，对精度的要求达到了近乎苛刻的程度。以芯片制造为例，随着芯片制程工艺的不断演进，从早期的微米级逐步迈入纳米级时代，对芯片尺寸、形状和位置的精确测量成为保证芯片性能和良率的关键因素。如在7nm节点的芯片制造中，对相关尺寸的测量精度要求