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本征广义分解法：集成电路互连线寄生电容提取的革新与实践

一、引言

1.1研究背景与意义

1.1.1集成电路发展现状

在当今数字化时代，集成电路作为现代信息技术产业的核心，正以前所未有的速度蓬勃发展。自1958年世界上第一块集成电路诞生以来，集成电路技术经历了从小规模集成（SSI）到中规模集成（MSI）、大规模集成（LSI）、超大规模集成（VLSI），再到如今的甚大规模集成（ULSI）和极大规模集成（GSI）的飞跃。随着技术的不断进步，芯片上能够集成的晶体管数量呈指数级增长，遵循着著名的摩尔定律。例如，早期的集成电路可能仅包含几十个晶体管，而如今先进的微处理器芯片中晶体管数量已达数十亿甚