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- 2026-02-11 发布于浙江
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SensorsandActuatorsA250(2016)219–228
ContentslistsavailableatScienceDirect
SensorsandActuatorsA:Physical
journalhomepage:www.elsev/locate/sna
Aprism-basednon-linearopticalreadoutmethodforMEMS
cantileverarrays
UlasAdiyana,∗,FehmiCivitcib,GoksenG.Yaraliogluc,HakanUreya
aKoc¸University,Istanbul,Turkey
bIst
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