CN110927835A 利用应变调制自组装制作光栅微透镜阵列的方法及产品 （上海理工大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN110927835A

(43)申请公布日2020.03.27

(21)申请号201911422388.3

(22)申请日2019.12.31

(71)申请人上海理工大学

地址200093上海市杨浦区军工路516号

(72)发明人佟健豪盛斌史俊黄元申

汪琪

(74)专利代理机构上海邦德专利代理事务所

(普通合伙)31312代理人余昌昊

(51)Int.CI.

GO2B3/00(2006.01)

GO2B5/18(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图1页

(54)发明名称

利用应变调制自组装制作光栅微透镜阵列的方法及产品

(57)摘要

CN110927835A本发明提出了利用应变调制自组装制作光栅微透镜阵列的方法及产品，该方法包括：利用PDMS从正微透镜阵列母版复制出负微透镜阵列模具；将负微透镜阵列模具进行单轴预拉伸；将预拉伸处理的PDMS负微透镜阵列表面形成类二氧化硅硬膜；将负微透镜阵列的预拉伸解除后即可在负微透镜阵列表面形成光栅微结构，得到自组装的负焦距GMA。以制备出的负焦距GMA作为模具进行复制可以制备出正焦距GMA。该方法步骤简单，不需要复杂的设备，成本低；相比传统光栅/微透镜阵列的制作，具有工艺流程简单灵活，制备时间短成本低的优势，且可以在制作过程中根据不同需求复制不同母版微透镜阵列分别来制备负焦距GMA

CN110927835A

CN110927835A权利要求书1/1页

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1.利用应变调制自组装制作光栅微透镜阵列的方法，其特征在于，该方法包括：

利用PDMS从正微透镜阵列母版复制出负微透镜阵列模具；

将负微透镜阵列模具进行单轴预拉伸；

将预拉伸处理的PDMS负微透镜阵列表面形成类二氧化硅硬膜；

将负微透镜阵列的预拉伸解除后即可在负微透镜阵列表面形成光栅微结构，得到自组装的负焦距GMA。

2.根据权利要求1所述的利用应变调制自组装制作光栅微透镜阵列的方法，其特征在于，所述负微透镜阵列模具通过固定在单轴拉伸的夹具上进行单轴预拉伸。

3.根据权利要求1所述的利用应变调制自组装制作光栅微透镜阵列的方法，其特征在于，所述类二氧化硅硬膜通过离子束蚀刻机进行氧等离子体处理或者紫外臭氧处理形成。

4.根据权利要求1所述的利用应变调制自组装制作光栅微透镜阵列的方法，其特征在于，利用所述负焦距GMA作为模具进行复制制备出正焦距GMA。

5.一种产品，其利用如权利要求1-3任一所述方法制备而成。

6.一种产品，其利用如权利要求4所述方法制备而成。

CN110927835A说明书1/4页

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利用应变调制自组装制作光栅微透镜阵列的方法及产品

技术领域

[0001]本发明涉及光学仪器领域，尤其涉及利用应变调制自组装制作光栅微透镜阵列的方法及产品。

背景技术

[0002]如今，小型便携式光谱仪已成为许多生物、医学和环境测量任务中最重要和应用最广泛的仪器之一。随着谱仪性能的不断提高，传统的光谱技术可以满足当前科学和工程应用的主要需求。然而，包括曲面准直收集镜和衍射光栅在内的典型的分立光学元件使传统的光学光谱仪变得复杂、笨重和昂贵。为了减小光学系统的尺寸和成本，我们通过将不同的光学功能组合成一个元件来减少元件的数量。在传统的光谱仪系统中，聚焦和色散是两个主要的光学功能。这两个功能可以通过在折射或反射光学元件上制作衍射面来实现。包括使用凹面光栅、光栅/菲涅尔透镜和光栅/微透镜混合元件。光栅/微透镜阵列混合元件集成了聚焦和色散两种主要光学功能。此外，许多简单而有效的制造方法可以用于微透镜阵列的制造，从而降低批量生产的成本。

[0003]光栅/微透镜阵列有望生产更低成本、更紧凑的商用光谱仪。本文报道了一种制备负焦距GMA(光栅/微透镜阵列)混合光学元件的简便方法。该技术采用了一种更简单的制造工艺，涉及将预应变后的PDMS制成的负微透镜阵列使用表面改性进行表面硬化，再对其预应变进行释放使其因应变失配以实现将光栅集成在微透镜阵列上，并可以实现正焦距GMA与负焦距GMA的互相复制与转化，可以通过两次复制灵活的制作出基于不同尺寸及形态的