微机电系统（MEMS）技术 MEMS流体器件光学吸收法测定溶液浓度的试验方法编制说明.pdfVIP

ICS31.080.99

CCSL40

中华人民共和国国家标准

GB/TXXXX-XXXX

微机电系统（MEMS）技术MEMS流体器件光

学吸收法测定溶液浓度的试验方法

Micro-electromechanicalsystem(MEMS)technology–Testmethodfordetermining

solutionconcentrationbyopticalabsorptionusingMEMSfluidicdevice

IEC62047-48:2024,IDT

（）

(征求意见稿)

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

GB/T××××-××××

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》和GB/T

1.2-2020《标准化工作导则第2部分：以ISO/IEC标准化文件为基础的标准化文件起草规则》的规定起

草。

本文件采用翻译法等同采用IEC62047-48:2024《Semiconductordevices-Micro-electromechanical

devices-Part48:TestmethodfordeterminingsolutionconcentrationbyopticalabsorptionusingMEMS

fluidicdevice》。

本文件对IEC62047-48:2024做了以下编辑性调整：

——为与现有标准协调，将标准名称改为《微机电系统（MEMS）技术MEMS流体器件光学吸收

法测定溶液浓度的试验方法》；

——删除了国际标准的前言；

——国际标准的引言部分调整到4.1“通则”；

——按照GB/T1.1—2020的规定，第1章范围增加了适用范围；

——规范性引用文件增加了GB/T26111微机电系统（MEMS）技术术语；

——按照GB/T1.1—2020的规定，第4章，增加4.1通则，三级目录调整为二级目录，4.1.1改为4.2，

4.1.2改为4.3，4.1.3改为4.4溶液中的光路长度，4.1.4改为4.5，4.1.5改为4.6，4.1.6改为4.7；

——按照GB/T1.1—2020的规定，第5章的三级目录调整为二级目录，5.1.1改为5.1，5.1.2改为5.2，

5.1.3改为5.3，5.1.4改为5.4，5.1.5改为5.5，5.2改为5.6；

——5.4测量单元的尺寸和形状，图6名称中“微流体通道”应改为“测量单元”；

——5.4第一段，删除“光斑大小定义为，在光强呈高斯分布时，大于最大光强75%的区域”；

——5.6c）设置测试参数，包括激光光源的功率，英文是表面温度和光度，可调的是功率；

——第6章出现测量值a、b、c，同时列项出现a、b、c、d，容易混淆，按照GB/T1.1—2020的规定

调整了列项的编号；

——修正了图片编号、图片中的符号与文字，使各图片能够正确对应文字描述内容；

——更改了语言表达方式，使之符合中文表达习惯，易于理解。

——三点技术性要求的技术性说明（微流体长度、光斑大小、出口距离检测区域足够长）

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本文件由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）提出并归口。

本文件起草单位：XXXX、XXXX、XXXX、XXXX、XXXX。

本文件主要起草人：XXX、XXX、XXX、XXX。