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MEMS技术赋能下纳米多晶硅薄膜压力传感器的制备及性能解析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，微机电系统（MEMS）技术作为一种融合了微电子、微机械、材料科学等多学科的前沿技术，正逐渐成为现代科技领域的研究热点。MEMS技术通过微加工工艺，将微型传感器、执行器、信号处理电路等集成在一块微小的芯片上，实现了系统的微型化、智能化和多功能化，其应用范围涵盖了消费电子、汽车、医疗、航空航天等多个领域。在过去的几十年里，MEMS技术取得了长足的进步，不断推动着各个领域的创新发展。

压力传感器作为MEMS技术的重要应用之一，在工业生产、生物医疗、汽车电子等领域发挥着关键作用。传