CN109031493A 基于介质超表面结构的窄带滤光片及其制作方法 （华中科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN109031493A

(43)申请公布日2018.12.18

(21)申请号201810838011.5

(22)申请日2018.07.26

(71)申请人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路

1037号

(72)发明人夏金松袁帅曾成

(74)专利代理机构华中科技大学专利中心42201

代理人李智曹葆青

(51)Int.CI.

GO2B5/28(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

基于介质超表面结构的窄带滤光片及其制作方法

(57)摘要

CN109031493A本发明公开了一种基于介质超表面的窄带滤光片，包括衬底、多层介质薄膜和在薄膜上制备的介质超表面。介质超表面为亚波长周期性结构，垂直入射的光束能够激发介质超表面内部光场的集群性相干振荡，并与入射光相互作用改变光的透射和反射特性。通过对于介质超表面结构单元和排布的设计，能够减小谐振的带宽，从而实现窄带滤波的特性。本发明还提供了制作方法，包括：在衬底上生长多层介质薄膜材料后，形成超表面图形结构的抗蚀掩模；将图形结构转移到顶层介质薄膜上；去掩模，清洗。本发明制作步骤简单且可与CMOS工艺兼容，能够同时实现窄带宽以及高消光比。与传统的多层膜窄带滤光片相

CN109031493A

CN109031493A权利要求书1/1页

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1.一种基于超表面结构的窄带滤光片，其特征在于，包括：衬底、位于所述衬底上的若干层介质薄膜以及位于所述介质薄膜上的介质超表面功能层；

其中，所述介质超表面功能层的表面为具有亚波长周期性结构的超表面结构，所述超表面结构上制备有若干个拼接的微纳图形阵列，每个所述微纳图形阵列为多个相同的微纳图形周期排布构成。

2.根据权利要求1所述的窄带滤光片，其特征在于，通过调控所述微纳图形阵列中微纳图形的尺寸和周期改变单个微纳图形阵列的反射波长，能够减小谐振的带宽，从而实现窄带滤波的特性。

3.根据权利要求1或2所述的窄带滤光片，其特征在于，垂直入射的光束能够激发所述超表面结构的内部光场的集群性相干振荡，所述内部光场的局域振荡与入射光相互作用能够改变光的透射和反射特性。

4.根据权利要求3所述的窄带滤光片，其特征在于，所述介质薄膜为高折射率介质层或者低折射率介质层。

5.根据权利要求4所述的窄带滤光片，其特征在于，所述窄带滤光片的工作方式为窄带透射或者窄带反射。

6.根据权利要求1所述的窄带滤光片，其特征在于，所述微纳图形阵列中的微纳图形排布为四方晶格、六方晶格或者准晶格。

7.根据权利要求1或6所述的窄带滤光片，其特征在于，所述微纳图形为纳米孔、纳米柱、纳米小球、纳米环或纳米棒。

8.一种基于超表面结构的窄带滤光片的制作方法，其特征在于，包括：

清洗衬底后，在衬底上外延生长若干层介质薄膜，在生长介质薄膜后的基片上形成超表面图形阵列结构的抗蚀掩模；

将所述图形阵列结构转移到顶层介质薄膜上后进行去抗蚀掩模，清洗操作后得到基于介质超表面的窄带滤光片。

CN109031493A说明书1/4页

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基于介质超表面结构的窄带滤光片及其制作方法

技术领域

[0001]本发明属于微纳光子器件领域，更具体地，涉及一种基于介质超表面结构的窄带滤光片及其制作方法。

背景技术

[0002]滤光片是在塑料或玻璃基材中加入特种染料或在其表面蒸镀光学膜制成，用以衰减(吸收)光波中的某些光波段或以精确选择小范围波段光波通过，而反射(或吸收)掉其他不希望通过的波段。通过改变滤光片的结构和膜层的光学参数，可以获得各种光谱特性，使滤光片可以控制、调整和改变光波的透射、反射、偏振或相位状态。滤光片的分类方法一般是按光谱波段、光谱特性、膜层材料、应用特点等特性进行分类。滤光片按照光谱特性分类可以分为带通滤光片、截止滤光片、二向分光滤光片(如半透半反镜)、中性密度滤光片、反射滤光片等；滤光片按照光谱波段分类可以分为紫外波段滤光片、可见光滤光片和红外波段滤光片；滤光片按照应用膜层材料分类可以分为软膜滤光片和硬膜滤光片；滤光片按照应用特点分类可以分为医用生化仪用滤光