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金属层附着力标准

JB/T8554-1997《气相沉积薄膜与基体附着力的划痕试验法》

1范围

本标准规定了测定气相沉积TiNx等硬质薄膜—基体界面耐金刚石压头划剥性能的试验方法。

本标准适用于气相沉积的硬质簿膜，也适用于气相沉积的润滑薄膜。

对任何特定的应用，所规定的试验方法可用补充资料加以完善。这些资料应来自相应的国际

标准、先进工业国家标准或国家标准、行业标准及其他相应文件，必要时，也可由测试和送

样双方协商提出相应文件。

2引用标准

下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示

版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可

能性。

GB6463—86金属和其他覆盖层厚度测量方法评述

CB／T2848—92洛氏硬度计技术条件

GB／T4342—92金属显微维氏硬度试验方法

JB／T75O5—94离子镀技术术语

JB／T7707—95离子镀硬质薄膜厚度试验方法球磨法

3方法概述

根据压头上自动连续增加的垂直载荷，测定完全划透薄膜并使之从其基体上连续剥离所需要

的最小载荷，即簿膜-基体界面附着失效的临界载荷Lc。

4仪器测定

Lc的自动划痕试验机的结构原理如图l所示。该仪器由下列主要部件组成：A一压头连续加

载电机；B一声发射探头，探测划痕产生的声发射强度并输人微机；C一洛氏硬度计标准压

头；D一试样台；E一位移电机，用以匀速沿水平方向拖动试样台；F一切向摩擦力传感器，

连续检测压头与薄膜之间的摩擦力并输入微机；G一试样台高度升降螺杆；H一加载压力传

感器；I一光学显微镜(≥40×)；J一信号放大器；K一变换控制器；L一微型计算机，用以

实施测试自控和自动处理数据，并动态显示及存贮数据与图形；M一试样；N—CRT显示器；

O一绘图打印机，输出试验结果；P一压头加载机构；Q一主支架。

《

GB5270-85金属基体上的金属覆盖层（电沉积和化学沉积

层）附着强度试验方法》

本标准规定了电沉积层和化学沉积层附着强度的定性检验方法。

本标准不包括定量测定覆盖层与基体之间附着强度的试验方法。

当各种覆盖层的国家标准中包含有某些附着强度的试验方法时，应当优先使用那些标准中的

方法，并事先由供需双方认可。

本标准等效采用国际标准ISO2819一198O《金属基体土金属覆盖层一电沉积层和化学沉积

层一附着强度试验方法的评价》。

1试验方法

1．1摩擦抛光试验当镀件的局部面积被摩擦抛光时，覆盖层有加工硬化和吸收摩擦热的倾

向。对于薄覆盖层，在此条件下，附着强度不良的区域，覆盖层会起泡而与基体分离。若镀

件的形状及尺寸允许时，在面积小于6cm2的镀覆面上，以一根直径为6mm、顶端加工成

平滑半球形的钢条作抛光工具，摩擦15s，所施加的压力应在每一行程中足以擦光覆盖层，

但不应削去覆盖层。附着强度差时，覆盖层会起泡，继续摩擦，泡会不断增大。如果覆盖层

的机械性能不良，泡可能破裂，覆盖层将从基体金属上剥离。本试验适用于相当薄的覆盖层。

1．2钢球摩擦抛光试验将试样放在一个内部装有直径为3mm钢球的滚筒或振动抛光机内，

并以肥皂水溶液作润滑剂进行摩擦抛光试验。当覆盖层的附着强度非常差时会起泡。本试验

适用于相当薄的覆盖层。

1．3喷丸试验借助重力或压缩空气流使铁丸或钢丸落到试样的表面上，由于锤击作用使覆

盖层变形。如果覆盖层与基体结合不良．将会起泡。为使附着强度不良的覆盖层起泡所必须

的喷射强度，视覆盖层的厚薄而不同，薄覆盖层需要的喷射强度比厚覆盖层要小。试验方法

之一是用一个长15Omm、内径19mm的管子作为铁丸和钢丸(直径约为0．75mm)的储存器，

并联接一个喷嘴，向该装置中通人压力为0．07至O．21MPa的压缩空气，喷嘴与试样之间

的距离为3至12mm。