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电涡流传感器测试计划

1参考指标

指标性能注释测试结果（待填）

量程100μm

分辨率5nm

精度8nm（RMS）测量任意5μm范围内位移变化

重复性5nm（RMS）5μm范围内的位移往复运动

温度稳定性6nm/℃温度范围-30~30℃内选取1个5℃

变化周期，变化速率约1℃/h

引线长度1.5m

工作间距400μm当探头和目标铝板距离在400±50

μm，传感器处在量程范围内。

功耗2.5W单通道

整体质量400g只包括固定在镜面的部分。

初始安装倾1.5°

角

2传感器各部分参数

项目参数备注

尺寸

支撑结构材料

固定方式

尺寸

铝片材料

固定方式

尺寸

材料

固定方式

探头线圈（上）L@1MHz

线圈（上）R@1MHz

线圈（下）L@1MHz

线圈（下）R@1MHz

电桥类型

线圈（上）补偿详见参数调整步骤

电桥

线圈（下）补偿

零点示波器截图

第一级运放放大倍数

ExcitSignal

Ref_0

Ref_90

信号调理电路第二级运放放大倍数

电桥参数调整步骤：

1．

2．。。

3测试项目

3.1精度

精度表示测量值离散的程度，即对一个量进行无穷多次测量时，测量结果会呈现正态分

2

布N(μ,σ)。σ越小，精度越高。

3.2重复性

3.3温度稳定性

3.4分辨率

3.5时间稳定性

3.6线性度

3.7湿度对性能的影响

4测试方法

前提条件：传感器开机时间在5小时以上，输出稳定后开始测量。以下不特殊说明，均

需满足此条件。

4.1精度

传感器开机时间在5小时以上，输出稳定后开始测量，测量时间在15分钟以内，并使

用温度计记录测试环境温度。以下两个测量方案相同。

方案一：

(1)将传感器和目标板之间的距离设定在一个合适的基准位置，确保微动台移动50um传感

器输出不会出量程。

(2)测量内容为1um、2um、5um的测量精度，即令微动台以1um、2um、5um的步距，从

0um位移移动到满幅50um位移。记录下微动台每移动一个步距后传感器的输出值变化量

Si。

(3)因为PI微动台的精度很高，在50um位移下非线性误差为10nm，近似认为PI微动台

的位移是精确的。计算传感器输出值的变化量Si的差，计算为：

n