CN110187417B Pdms薄膜微透镜阵列的制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN110187417B公告日2020.08.25

(21)申请号201910573183.9

(22)申请日2019.06.27

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN110187417A

(43)申请公布日2019.08.30

(73)专利权人电子科技大学

地址610000四川省成都市高新区(西区)

西源大道2006号

(72)发明人彭倍张遒姝王松徐锦涛

(74)专利代理机构北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)11463

代理人覃蛟

(51)Int.CI.

GO2B3/00(2006.01)

GO3F7/00(2006.01)

(56)对比文件

WO2008114893A1,2008.09.25CN102393600A,2012.03.28

CN107216470A,2017.09.29

审查员沈婷婷

权利要求书2页说明书10页附图4页

(54)发明名称

PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法

(57)摘要

CN110187417B本申请实施例提供一种PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，涉及微透镜技术领域。PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法包括：对PDMS片状体进行拉伸，PDMS片状体包括相对的第一表面和第二表面，且PDMS片状体具有阵列设置的圆形盲孔，圆形盲孔的开口位于第一表面，保持PDMS片状体处于拉伸状态使得圆形盲孔的内径变大，且保持开口的圆形截面形状不变；将PDMS薄膜层粘贴于处于拉伸状态下的PDMS片状体的第一表面并覆盖圆形盲孔的开口，且PDMS薄膜层与第一表面连接；对PDMS片状体释放拉力使得PDMS薄膜在PDMS

CN110187417B

CN110187417B权利要求书1/2页

2

1.一种PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，其特征在于，包括：

对PDMS片状体进行拉伸，所述PDMS片状体包括相对的第一表面和第二表面，且所述PDMS片状体具有阵列设置的圆形盲孔，所述圆形盲孔的开口位于所述第一表面，保持所述PDMS片状体处于拉伸状态使得所述圆形盲孔的内径变大，且保持所述开口的圆形截面形状不变；

将PDMS薄膜层粘贴于处于拉伸状态下的所述PDMS片状体的所述第一表面并覆盖所述圆形盲孔的开口，且所述PDMS薄膜层与所述第一表面连接；

对所述PDMS片状体释放拉力使得所述PDMS薄膜层在所述PDMS片状体收缩后形成微透镜结构。

2.根据权利要求1所述的PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，其特征在于，所述PDMS薄膜层粘贴于所述处于拉伸状态下的所述PDMS片状体的所述第一表面的方法包括：

将可转移PDMS薄膜粘贴于处于拉伸状态下的所述PDMS片状体的所述第一表面，所述可转移PDMS薄膜包括依次层叠的第一基材层、光刻胶层和所述PDMS薄膜层，所述光刻胶层由未曝光的光刻胶制成，所述PDMS薄膜层靠近所述第一表面设置；

利用显影液去除所述光刻胶层后，再去除所述第一基材层。

3.根据权利要求2所述的PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，其特征在于，所述将可转移PDMS薄膜粘贴于处于拉伸状态下的所述PDMS片状体的所述第一表面的方法包括：利用粘接层将所述可转移PDMS薄膜的所述PDMS薄膜层粘接于所述PDMS片状体的所述第一表面，粘接层选自含有PDMS预聚物和固化剂的PDMS液膜。

4.根据权利要求3所述的PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，其特征在于，所述利用粘接层将所述可转移PDMS薄膜的所述PDMS薄膜层粘接于所述PDMS片状体的所述第一表面的步骤包括：

将所述PDMS液膜形成于第二基材层的表面得到功能层，将所述功能层覆盖于所述处于拉伸状态下的所述PDMS片状体的所述第一表面并覆盖圆形盲孔的开口，且所述PDMS液膜靠近所述第一表面设置；

移除所述第二基材层，将所述可转移PDMS薄膜覆盖于所述PDMS液膜的表面，且使得所述PDMS薄膜层与所述PDMS液膜贴合；将所述PDMS液膜固化。

5.根据权利要求2所述的PDMS薄膜微透镜阵列的制作方法，其特征在于，所述将可转移PDMS薄膜粘贴于保持拉伸状态下的所述PDMS片状体的所述第一表面的方法包括：

对所述可转移PDMS薄膜的所述PDMS薄膜层和所述第一表面进行等离子处理后，将所述PDMS薄膜层与所述第一表面贴合并键合。

6.根据权利要求2所述的PDMS