一种小型电压传感结构的设计及优化.pdfVIP

一种小型电压传感结构的设计及优化

张国帅吕正超

摘要

本文在十字固端梁学应变结构的基础上，针对其应变较小，容易受到外界震

动、杂波及微扰动影响的缺点，对其进行结构优化。基于硅微机械加工原理设

计了一种轿型新型传感应变结构。利用有限元分析法对两种结构进行了对比，

表明轿型结构应变单元应变较大，具有一定程度的抗干扰能力，实现了一定范

围内的低频交流电压、直流电压及静电电压的测量。

关键词

电压测量；微型结构；轿型结构

静电电压的测量3［］。为此本文以静电电压表测量方法为基础，充分发挥静电电

压表输入阻抗高，体积小重量轻等优点，利用学法布里-珀罗(Fabry-Perot,

F-P)电传感机理4［］及边带解调原理的优势，整体提升电压测量的抗电磁干

扰能力、精度及安全性。

1电压传感数学模型

为了最大限度减小传感器的整体尺寸，采用MEMS硅微加工方法制成电-力耦合

传感应变单元。在电场作用下，其应变数量级在几十微米左右。相比于整个平

行极板而言，该应变而平板间均匀电场的影响可以忽略不计。因此在制作电压

传感器的时候，可以将其置于接地电极中心。

2电压传感应变结构的设计及优化

对厚度为3