CN1744293A 薄膜晶体管的制作方法及其结构 （台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公开说明书

[21]申请号200410074226.2

[51]Int.Cl.

HO1L21/336(2006.01)

HO1L21/84(2006.01)

HO1L29/786(2006.01)

[43]公开日2006年3月8日[11]公开号CN1744293A

[22]申请日2004.9.3

[21]申请号200410074226.2

[71]申请人台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会地址台湾省新竹县

共同申请人中华映管股份有限公司友达光电股份有限公司广辉电子股份有限公司瀚宇彩晶股份有限公司奇美电子股份有限公司财团法人工业技术研究院统宝光电股份有限公司

[72]发明人周麟恩蔡家豪刘舜逢

[74]专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人王一斌

权利要求书4页说明书8页附图8页

[54]发明名称

薄膜晶体管的制作方法及其结构

[57]摘要

本发明是一种薄膜晶体管的制作方法及其结构，所述薄膜晶体管的制作方法是利用压印技术，在模版上以金属或金属氧化物按预定图案制作出不透光凸块，将感光材料涂布在基板，以该模版压印该基板时，提供紫外光固化该感光材料，分离模版与基板后，再利用化学溶液去除该基板上未固化的感光材料；借此，经由具有该不透光凸块的该模版压印并固化定型该感光材料，可形成所需的薄膜晶体管。

200410074226.2权利要求书第1/4页

2

1、一种薄膜晶体管的制作方法，所述薄膜晶体管的制作方法是包括：

置备一玻璃基板；

涂布制作一层负型感光材料于该玻璃基板上；

5置备一透光模版，该透光模版是按一预定图案布设有不透光凸块；

下压该透光模版至该玻璃基板；

利用紫外光曝光固化定型该负型感光材料；

分离该透光模版与该玻璃基板，提供化学溶液清洗并去除因该不透光凸块遮蔽而未固化定型的该负型感光材料；

10借此，经由具有该不透光凸块的该透光模版压印并固化定型该负型感光材料，可形成所需的薄膜晶体管。

2、根据权利要求1所述的薄膜晶体管的制作方法，是包括：以旋转涂布制作该层负型感光材料。

3、根据权利要求1所述的薄膜晶体管的制作方法，其中该透光模版

15是压迫该负型感光材料有一预定深度。

4、根据权利要求1所述的薄膜晶体管的制作方法，其中该负型感光材料是可为半导体材料、导体材料或绝缘材料，借此形成所需的薄膜晶体管。

5、根据权利要求1所述的薄膜晶体管的制作方法，其中该透光模版20是可为玻璃或石英，该不透光凸块是为金属材料。

6、根据权利要求5所述的薄膜晶体管的制作方法，是包括：设置一附着层于该不透光凸块与该透光模版之间，该附着层的热膨胀系数是介于该不透光凸块与该透光模版之间。

7、根据权利要求6所述的薄膜晶体管的制作方法，其中该附着层是25为由该金属材料形成的金属氧化物材料所制成。

200410074226.2权利要求书第2/4页

3

8、根据权利要求7所述的薄膜晶体管的制作方法，其中该金属材料是为铬、钼或钨等过镀元素，该金属氧化物材料是为铬、钼或钨等过镀元素所形成的氧化物。

9、根据权利要求5所述的薄膜晶体管的制作方法，是包括：镀上一

5层与该负型感光材料有相斥性的脱膜层于该金属材料之上。

10、根据权利要求9所述的薄膜晶体管的制作方法，其中该脱膜层是为铁氟龙。

11、根据权利要求1所述的薄膜晶体管的制作方法，是包括：在下压透光模版之前是以一感光元件对准该透光模版与该玻璃基板。

1012、根据权利要求11所述的薄膜晶体管的制作方法，其中该感光元件是为感光耦合元件或互补性氧化金属半导体元件。

13、一种薄膜晶体管的结构，其特征在于所述薄膜晶体管的结构包括：一玻璃基板，是具有一层按一预定图案固化定型的负型感光材料；一透光模版，是具有按该预定图案布设的不透光凸块；

15其中，该负型感光材料是经由紫外光曝光固化定型，且该不透光凸块遮蔽而未固化定型的该负型感光材料是以化学溶液清洗去除；

借此，