CN102037560B 通过将多孔硅转变成多孔金属或陶瓷来制作微结构的方法 （Rise技术有限责任公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN102037560B

(45)授权公告日2012.09.26

(21)申请号200980117012.X

(22)申请日2009.03.18

(30)优先权数据72008.03.21EP

MI2008A0019412008.11.04IT

(85)PCT申请进入国家阶段日

2010.11.11

(86)PCT申请的申请数据

PCT/EP2009/0531972009.03.18

(87)PCT申请的公布数据

WO2009/115551EN2009.09.24

(51)Int.CI.

HO1L23/367(2006.01)

HO1L23/498(2006.01)

HO1L25/10(2006.01)

HO1L21/68(2006.01)

(56)对比文件

EP0499488B9,2004.01.28,

US2006234079A1,2006.10.19,审查员任芸芸

(73)专利权人RISE技术有限责任公司地址意大利罗马

(72)发明人M·布鲁卡尼

(74)专