CN101030540A 氧化铝绝缘层的制作方法 （台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200610058374.4

[51]Int.Cl.

HO1L21/316(2006.01)

HO1L21/288(2006.01)

[43]公开日2007年9月5日[11]公开号CN101030540A

[22]申请日2006.3.3

[21]申请号200610058374.4

[71]申请人台湾薄膜电晶体液晶显示器产业协会地址中国台湾

共同申请人中华映管股份有限公司友达光电股份有限公司广辉电子股份有限公司瀚宇彩晶股份有限公司奇美电子股份有限公司财团法人工业技术研究院统宝光电股份有限公司

[72]发明人陈其伟萧名男王朝仁

[74]专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人黄健

权利要求书5页说明书13页附图7页

[54]发明名称

氧化铝绝缘层的制作方法

[57]摘要

本发明提供了采用溶胶-凝胶法制作铝醇盐的先驱物，以特定的涂布方法处理后，在常压与低温条件下，以紫外光或热处理使涂布的先驱物固化成膜，而制得绝缘电气性质良好的氧化铝绝缘层，或搭配准分子激光或紫外光曝光，完成氧化铝绝缘层的图案制作，有别于目前薄膜晶体管普遍采用的电浆辅助化学气相沉积法制作的氮化硅或二氧化硅无机绝缘层方法，更适合未来低成本大面积化与印刷连续式的平面显示器制作。

制备混合原料

搅拌形成先驱物

有图案的涂布

固化形成有图案的氧化铝膜

S101

S105

S107

S109

200610058374.4权利要求书第1/5页

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1.一种氧化铝绝缘层的制作方法，其特征在于，步骤包括：

提供具有一铝醇盐、一醇类溶剂、一螯合剂及水的混合原料；

搅拌该混合原料，以形成一溶胶-凝胶氧化铝先驱物；

将该溶胶-凝胶氧化铝先驱物涂布于一基材；及

以紫外光曝光固化方式于该基材上形成有图案氧化铝膜。

2.如权利要求1所述的氧化铝绝缘层的制作方法，其特征在于该铝醇盐为正丙醇铝、异丙醇铝、正丁醇铝或三仲丁氧铝；该醇类溶剂为异丙醇、2-(2-乙氧基)乙醇、3-甲氧基丁醇、2-甲氧基乙醇、甲醇、乙醇或正丁醇；而该鳌合剂为乙酰乙酸乙酯、乙酰丙酮、乙二醇或甘油。

3.如权利要求1所述的氧化铝绝缘层的制作方法，其特征在于搅拌该混合原料之时予以加温搅拌。

4.如权利要求1所述的氧化铝绝缘层的制作方法，其特征在于为了促进反应，缩短形成该溶胶-凝胶氧化铝先驱物的反应时间，于该混合原料中加入一催化剂；

该催化剂为酸类。

5.如权利要求1所述的氧化铝绝缘层的制作方法，其特征在于该溶胶-凝胶氧

化铝先驱物涂布的方式为一种有图案的涂布。

6.一种氧化铝绝缘层的制作方法，其特征在于，步骤包括：

提供具有一铝醇盐、一醇类溶剂、一螯合剂及水的一混合原料；

搅拌该混合原料，以形成一溶胶-凝胶氧化铝先驱物；

将该溶胶-凝胶氧化铝先驱物涂布于一基材；及

以热固化方式于该基材上形成有图案氧化铝膜。

7.如权利要求6所述的氧化铝绝缘层的制作方法，其特征在于该铝醇盐为正丙醇铝、异丙醇铝、正丁醇铝或三仲丁氧铝；该醇类溶剂为异丙醇、2-(2-乙氧基)乙醇、3-甲氧基丁醇、2-甲氧基乙醇、甲醇、乙醇或正丁醇；而该鳌合剂为

200610058374.4权利要求书第2/5页

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乙酰乙酸乙酯、乙酰丙酮、乙二醇或甘油。

8.如权利要求6所述的氧化铝绝缘层的制作方法，其特征在于搅拌该混合原料之时予以加温搅拌。

9.如权利要求6所述的氧化铝绝缘层的制作方法，其特征在于为了促进反应，缩短形成该溶胶-凝胶氧化铝先驱物的反应时间，于该混合原料中加入一催化剂；该催化剂为酸类。

10.如权利要求6所述的氧化铝绝缘层的制作方法，其特征在于该溶胶-凝胶氧化铝先驱物涂布的方式为一种有图案的涂布。

11.一种氧化铝绝缘层的制作方法，其特征在于，步骤包括：

提供具有一铝醇盐、一醇类溶剂、一螯合剂及水的一混合原料；

搅拌该混合原料，以形成一溶胶-凝胶氧化铝先驱物；

将该溶胶-凝胶氧化铝先驱物涂布于一基材；及

利用热固化方式于该基材上形成一无图案氧化铝膜。

12.如权利要求11所述的氧化铝绝缘层的制作方法，其特征在于该铝醇盐为正