CN101538003B 微机械变压器及其制作方法 （西北工业大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101538003B

(45)授权公告日2011.03.16

(21)申请号200910022029.9

(22)申请日2009.04.15

(73)专利权人西北工业大学

地址710072陕西省西安市友谊西路127号

(72)发明人苑伟政虞益挺乔大勇

(74)专利代理机构西北工业大学专利中心

61204

代理人夏维力

(51)Int.CI.

B81B7/02(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

审查员张云

权利要求书1页说明书3页附图5页

(54)发明名称

微机械变压器及其制作方法

(57)摘要

CN101538003B本发明公开了一种微机械变压器及其制作方法，属于智能微型器件领域。该微机械变压器的第三导体3位于基底4上，与外界地相连；第一导体1与第二导体2均通过锚点6悬置于基底4上，第一导体1输入电压Vn,第二导体2输出感应电压Vinduc。各导体两两之间构成平板电容。此外，该变压器还可以通过更多悬置导体的形式得到多级变压器。该微机械变压器可以通过以下工艺过程得到：基底上生长薄膜、刻蚀、结构材料上刻蚀锚点、键合、减薄、刻蚀结构材料。本发明提出的新型微机械变压器具有结构设计简单、工艺成熟、体积小等优点，同时很容易扩展成多级变压器，在设计

CN101538003B

CN101538003B权利要求书1/1页

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1.一种微机械变压器，其特征在于：包括第一导体(1)、第二导体(2)、第三导体(3)、基底(4)和锚点(6);所述的第三导体(3)位于基底(4)上，通过接地焊盘(7)与外界地相连；第一导体(1)与第二导体(2)均通过锚点(6)悬置于基底(4)上，第一导体(1)由与其连接的输入焊盘(8)输入电压，第二导体(2)由与其连接的输出焊盘(9)输出感应电压；第一导体(1)、第二导体(2)与第三导体(3)两两之间构成平板电容。

2.一种如权利要求1所述的微机械变压器，其特征在于：所述的变压器还包括更多通过锚点(6)悬置于基底(4)上的导体，任一悬置导体与第三导体(3)之间、相邻两悬置导体之间均构成平板电容。

3.一种如权利要求1～2任一所述的微机械变压器，其特征在于：所述的第一导体(1)和第二导体(2)的材料为半导体导电材料。

4.一种制作如权利要求1所述的微机械变压器的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1:在基底(4)的表面生长一层金属薄膜，并刻蚀出图形，形成第三导体(3)、接地焊盘(7)、输入焊盘(8)和输出焊盘(9);

步骤2:在结构材料(5)的一侧刻蚀出锚点(6);

步骤3:将由步骤1和步骤2得到的结构通过锚点(6)键合在一起，并将结构材料(5)减薄至所需厚度；

步骤4:对结构材料(5)进行刻蚀，得到第一导体(1)和第二导体(2),形成微机械变压器。

CN101538003B说明书1/3页

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微机械变压器及其制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及一种微机械变压器及其制作方法，属于智能微型器件领域。

背景技术

[0002]近二十年来，微机电系统(MEMS)技术取得了飞速发展。目前的一个研究趋势是系统级芯片(systemonachip,SOC),将各种微传感器、微制动器、控制电路、通讯系统以及能源系统集成在单个芯片上，来提高系统性能、有效降低系统体积和制造成本。其中能源系统至关重要，为其他组件提供工作所需的能量。变压器是一种重要的电压转换元件，在能源系统中有着广泛应用。

[0003]现有的基于MEMS技术的微机械变压器都是电感耦合式的。利用电磁感应原理，采用主/次线圈配置结构。线圈既有平面螺旋形的(15thIEEEInt1Conf.onMicroElectroMechanicalSystems(MEMS),2002,pp.649-652pp.653-656;58thElectronicComponentsandTechnologyConf.(ECTC),2008,pp.1953-1957),也有三维螺线管形的(J