CN101446667B 一种大功率可变光学衰减片的制作方法 (武汉光迅科技股份有限公司).docxVIP

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  • 2026-02-28 发布于重庆
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CN101446667B 一种大功率可变光学衰减片的制作方法 (武汉光迅科技股份有限公司).docx

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101446667B

(45)授权公告日2010.08.25

(21)申请号200810154429.0

(22)申请日2008.12.24

(73)专利权人武汉光迅科技股份有限公司

地址430074湖北省武汉市洪山区邮科院路

88号

(72)发明人王定理祝业盛马卫东唐琼廖志霞

(74)专利代理机构天津市北洋有限责任专利代理事务所12201

代理人江镇华

(51)Int.CI.

GO2B

审查员

6/26(2006.01)肖远

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

一种大功率可变光学衰减片的制作方法

在玻璃基片表面制作倒台型光刻胶图形在带有倒台型光刻胶的

在玻璃基片表面制作倒台型光刻胶图形

在带有倒台型光刻胶的

玻璃基片表面镀制金属薄膜

剥离掉倒台型光刻胶

及其表面附着的金属薄膜

CN101446967B本发明属于无源光器件技术领域,涉及一种大功率可变光学衰减片的制作方法,它通过在玻璃基片上制作沿着基片长度方向透光面积逐渐变化的金属薄膜透光孔,实现沿基片长度方向光功率衰减量的渐变,金属薄膜透光孔是采用金属剥离的方法制作的。本发明不需要采用湿法或干法刻蚀工艺来制作金属薄膜

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