CN101598843B 模仁及其制作方法 （鸿富锦精密工业（深圳）有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101598843B

(45)授权公告日2013.07.03

(21)申请号200810302007.3

(22)申请日2008.06.04

(73)专利权人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司地址518109广东省深圳市宝安区龙华镇油

松第十工业区东环二路2号

专利权人鸿海精密工业股份有限公司

(72)发明人庄信弘

(51)Int.CI.

GO2B7/02(2006.01)

GO3F7/00(2006.01)

(56)对比文件

CN1696782A,2005.11.16,说明书具体实施方式、附图7-10.

CN1696782A,2005.11.16,说明书具体实施方式、附图7-10.

CN1883911A,2006.12.27,权利要求1.

CN1696782A,2005.11.16,说明书具体实施方式、附图7-10.

US2006/0258139A1,2006.11.16,全文.审查员彭博

权利要求书1页说明书3页附图2页

(54)发明名称

模仁及其制作方法

(57)摘要

CN101598843B本发明涉及一种模仁制作方法。所述模仁制作方法包括提供一层硅晶圆基材，于所述基材一表面形成中间层，于所述中间层表面形成催化剂层，形成多个相互分离的中间层图形及催化剂层图形，在所述催化剂层图形表面形成预定形状的外表面，在所述催化剂层外表面以无电镀的方法形成外表面与所述催化层外表面形状相同的成型部，所述催化剂层对所述成型部的无电镀步骤具有催化作用，每个成型部覆盖一个相应的催化剂层图形且相互之间分离。所述的模仁制作方法可充分利用微影法的高解析度以及无电镀制程的低

CN101598843B

提供一层基材

提供一层基材

于所述基材上形成一层催化剂层

图案化所述催化剂层以形成多个相互本间分离的生长核心

处理所述僮化剂层使其具有预定形状的外表面

采用无电镀的方法在所述多个具有预定

形状外表面上生长金属层以得到模仁

CN101598843B权利要求书1/1页

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1.一种制作模仁的方法，其包括：

提供一层硅晶圆基材；

于所述基材一表面形成一层中间层；

于所述中间层上形成一层催化剂层；

在催化剂层表面涂布光阻层，采用光罩对所述光阻层进行曝光处理，曝光之后对光阻层进行显影处理，从而形成图案化的光阻层，之后对所述图案化的光阻层进行硬烤；

分别采用不同的蚀刻液先后蚀刻所述催化剂层与所述中间层，所述催化剂层以及所述中间层中被所述光阻层保护的部分保留下来而其余的部分被蚀刻掉，从而形成多个相互分离的中间层图形以及形成多个位于所述多个相互分离的中间层上的相互分离的催化剂层图形；

采用溶剂去除所述图案化的光阻层；

采用激光束直写、离子束直写、电子束直写、或者灰阶光罩微影法在每个所述催化剂层图形上形成预定形状的外表面；及

采用无电镀的方法在多个具有预定形状外表面上生长金属层以得到多个相互分离的且外表面具有预定形状的成型部，从而形成模仁。

2.如权利要求1所述的制作模仁的方法，其特征在于，所述催化剂层与所述金属层材质相同。

CN101598843B说明书1/3页

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模仁及其制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及一种模仁及其制作方法，尤其涉及一种用于成型微型光学元件的模仁及其制作方法。

背景技术

[0002]目前应用于手机镜头模组中的光学元件，例如透镜等大都采用射出成型方式来制作。而手机设计均以轻薄短小为设计目标，其要求手机镜头模组中的各光学元件的厚度降低，整体厚度及尺寸大小要求也越来越苛刻。微形光学元件亦逐渐进入纳米尺度，具体可参见JianJimWang在the14thAnnualWirelessandOpticalCommunicationsConference(April22-23,2005)上发表的“RedefineOpticalDevicesIntegrationandManufact