CN101587905B 一种相变纳米晶体管单元器件及其制作方法 （上海市纳米科技与产业发展促进中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101587905B

(45)授权公告日2012.05.23

(21)申请号200810037819.X(56)对比文件

(22)申请日2008.05.22CN101043067A,2007.09.26,CN101013736A,2007.08.08,

(73)专利权人上海市纳米科技与产业发展促进

审查员

审查员王琳

地址200237上海市徐汇区嘉川路245号3

号楼三楼

专利权人中国科学院上海微系统与信息技

术研究所

(72)发明人周伟民宋志棠钮晓鸣刘彦伯

闵国全李小丽万永中张静

封松林

(51)Int.CI.

HO1LHO1LG11CG11C

27/24(2006.01)21/822(2006.01)11/56(2006.01)

16/02(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图3页

(54)发明名称

一种相变纳米晶体管单元器件及其制作方法

(57)摘要

CN101