CN101689521B 用于在半导体制作中监视通孔的方法及设备 （密克罗奇普技术公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101689521B

(45)授权公告日2011.10.05

(21)申请号200880021489.3

(22)申请日2008.06.20

(30)优先权数据

60/936,9252007.06.22US12/128,4032008.05.28US

(51)Int.CI.

HO1L21/66(2006.01)HO1L23/544(2006.01)

审查员吕媛

(85)PCT申请进入国家阶段日

2009.12.22

(86)PCT申请的申请数据

PCT/US2008/0675952008.06.20

(87)PCT申请的公布数据

WO2009/002812EN2008.12.31

(73)专利权人密克罗奇普技术公司地址美国亚利桑那州

(72)发明人兰迪·亚奇汤米·史蒂文斯

(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司11287

代理人沈锦华

权利要求书2页说明书7页附图13页

(54)发明名称

用于在半导体制作中监视通孔的方法及设备

(57)摘要

CN101689521B本发明揭示一种用于监视半导体制作过程的方法