CN101695992B 基于体硅加工技术的电热驱动微夹钳制作方法 （大连理工大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101695992B

(45)授权公告日2011.09.14

(21)申请号200910187860.X

(22)申请日2009.10.11

(73)专利权人大连理工大学

地址116024辽宁省大连市甘井子区凌工路

2号

(72)发明人褚金奎张然刘帅张成王文静

(74)专利代理机构大连理工大学专利中心

21200

代理人关慧贞

(51)Int.CI.

B25J15/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

审查员祁恒

权利要求书1页说明书3页附图3页

(54)发明名称

基于体硅加工技术的电热驱动微夹钳制作方法

(57)摘要

CN101695992B本发明基于体硅加工技术的电热驱动微夹钳制作方法属于微制造技术领域，特别涉及一种基于体硅工艺的微夹钳制作方法。采用体硅加工技术制作出具有较大深宽比微结构的电热驱动微夹钳，包括以下步骤：预处理；光刻释放窗口图形；用湿法刻蚀工艺刻蚀下表面二氧化硅；光刻钳体图形；用自感耦合等离子刻蚀工艺刻蚀上表面二氧化硅；用自感耦合等离子刻蚀工艺刻蚀释放窗口；用自感耦合等离