CN101694989B 基于声界面波、集成mems开关的单片滤波器组件及其制作方法 （电子科技大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN101694989B

(45)授权公告日2012.05.30

(21)申请号200910167869.4

(22)申请日2009.10.12

(73)专利权人电子科技大学

地址610054四川省成都市建设北路二段四

号

(72)发明人杜波石玉王华磊黄华钟慧赵宝林何泽涛

(51)Int.CI.

HO3H9/64(2006.01)

HO1H59/00(2006.01)

B81B7/02(2006.01)

HO3H3/08(2006.01)

HO1H49/00(2006.01)

B81C1/00(2006.01)

审查员张璐

权利要求书2页说明书7页附图4页

(54)发明名称

基于声界面波、集成MEMS开关的单片滤波器组件及其制作方法

(57)摘要

CN101694989B本发明公开了一种基于声界面波、集成MEMS开关的单片滤波器组件及其制备方法，该组件由一组或者几组相互垂直排列且成层状结构的上述声界面滤波器和分布在每组声界面滤波器周围相对应的MEMS开关集成，MEMS开关的信号输入电极、信号输出电极、接地电极与封装对应