CN101604705A 四周环绕栅极鳍栅晶体管及其制作方法 （上海新傲科技股份有限公司）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200910053502.X

[51]Int.Cl.

HO1L29/78(2006.01)

HO1L29/06(2006.01)HO1L29/423(2006.01)HO1L21/336(2006.01)

[43]公开日2009年12月16日[11]公开号CN101604705A

[22]申请日2009.6.19

[21]申请号200910053502.X

[71]申请人上海新傲科技股份有限公司

地址201821上海市嘉定区普惠路200号

共同申请人中国科学院上海微系统与信息技术研究所

[72]发明人王曦魏星

[74]专利代理机构上海翼胜专利商标事务所(普通

合伙)

代理人翟羽

权利要求书6页说明书19页附图26页

[54]发明名称

四周环绕栅极鳍栅晶体管及其制作方法

[57]摘要

一凹陷，于第二绝缘层中形成遵孔，并使两个腐蚀窗口之间的第一半导体层和第二半导体层悬空采用沉积工艺，在第一半导体层与第二半导体层表面

一凹陷，于第二绝缘层中形成遵孔，并使两个腐蚀窗口之间的第一半导体

层和第二半导体层悬空

采用沉积工艺，在第一半导体层与第二半导体层表面分别制作环绕第一半导体层与第二半导体