CN101592777A 基于纳米结构的全光谱广角聚光器的制作方法 （苏州纳米技术与纳米仿生研究所）.docxVIP

[19]中华人民共和国国家知识产权局

[12]发明专利申请公布说明书

[21]申请号200910030341.2

[51]Int.Cl.

GO2B19/00(2006.01)

GO2B3/08(2006.01)

G02B1/10(2006.01)

HO1L31/052(2006.01)

C23F1/14(2006.01)

C23F4/00(2006.01)

[43]公开日2009年12月2日[11]公开号CN101592777A

[22]申请日2009.3.19

[21]申请号200910030341.2

[71]申请人苏州纳米技术与纳米仿生研究所

地址215125江苏省苏州市工业园区独墅湖

高教区若水路398号

[72]发明人张瑞英董建荣杨辉

[74]专利代理机构南京苏科专利代理有限责任公司

代理人陈忠辉

权利要求书1页说明书10页附图4页

[54]发明名称

基于纳米结构的全光谱广角聚光器的制作方法

[57]摘要

本发明提供一种基于纳米结构的全光谱广角聚光器的制作方法，首先设计加工适度聚焦倍数的聚光器；然后在清洁的聚光器两面沉积一定厚度的金属层，再高温快速退火形成适度大小的金属球；继而在金属球的掩膜下，经干法刻蚀，在聚光器两面形成一