CN108231594B 一种FinFET器件的制作方法 （上海集成电路研发中心有限公司）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利

(45)授权

(10)授权公告号CN108231594B公告日2020.10.02

(21)申请号201711391067.2

(22)申请日2017.12.21

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN108231594A

(43)申请公布日2018.06.29

(73)专利权人上海集成电路研发中心有限公司地址201210上海市浦东新区张江高斯路

497号

专利权人成都微光集电科技有限公司

(72)发明人宋雷

(74)专利代理机构上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275

代理人吴世华陈慧弘

(51)Int.CI.

HO1L21/336(2006.01)

H01L29/78(2006.01)

(56)对比文件

CN105374738A,2016.03.02CN104966669A,2015.10.07CN104037159A,2014.09.10CN1428834A,2003.07.09

CN101958344A,2011.01.26

US2016/0380083A1,2016.12.29CN101604705A,